Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9158027 zu verkaufen
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ID: 9158027
Wafergröße: 8"
Coater / Developer system, 8"
Single block
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TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 ist eine Photolackausrüstung, die bei der Herstellung integrierter Schaltungen (ICs) verwendet wird. Das System arbeitet, indem ein IC-Substrat einer UV-Lichtquelle ausgesetzt wird, die Photoresist zerstäubt, wo das UV-Licht fällt. Das Gerät wird bei der Erstellung vieler verschiedener Arten von ICs verwendet, einschließlich digitaler Logik, analoger Geräte und anwendungsspezifischer integrierter Schaltungen (ASICs). Die Maschine besteht aus mehreren Teilen: der Photolackversorgung, der Photolackentwicklungseinheit, dem Maskenausrichtwerkzeug, dem Photolackbelichtungsgut und der Photolackentfernungseinheit. Die Photolackzufuhrkomponente ist für die Zufuhr und Speicherung von Photolack in einer Weise verantwortlich, die deren Sauberkeit gewährleistet und für die gleichen Bedingungen für jedes Gemisch sorgt. Die Photoresist-Entwicklungseinheit trägt dazu bei, eine konsistente und genaue Photoresist-Entwicklung zu gewährleisten. Es ist verantwortlich für die genaue Positionierung und Messung des Photolackgemisches und steuert dann den Entwicklungsprozess auf konsistente Ergebnisse. Das Maskenausrichtungsmodell ist dafür verantwortlich, eine genaue Übertragung des Photolacks von der Maske auf das IC-Substrat zu gewährleisten. Dieses Bauelement hilft bei der korrekten Ausrichtung der Photomaske über den Wafer, so dass die korrekten Merkmale exakt auf das IC-Substrat übertragen werden. Das Photoresist-Belichtungsgerät ist für die Steuerung der UV-Lichtquelle und deren Gleichmäßigkeit und Leistung verantwortlich. Dadurch wird sichergestellt, dass der Photolack gleichmäßig über die gesamte Photomaske belichtet wird und dass auch die gewünschten Muster exakt auf das IC-Substrat übertragen werden. Schließlich ist die Photolackentfernungseinheit für die Verwaltung des Photolackätzprozesses zuständig. Dazu gehören der Zeitpunkt des Ätzprozesses, die im Ätzprozess verwendeten chemischen Komponenten und die Gewährleistung, dass der Ätzprozess während des gesamten Prozesses sauber gehalten wird. TEL Clean Track Mark 7 ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges System für Photolackanwendungen bei der Herstellung integrierter Schaltungen. Es vereint mehrere Systeme zu einem, um Photomaskenausrichtung und Photoresistbelichtung effektiv und präzise durchzuführen. Die Einheit ermöglicht eine gleichmäßige Übertragung von Photolack auf IC-Substrate und ist in der Lage, die Entwicklungs- und Ätzprozesse für überlegene Ergebnisse genau zu steuern. Die Maschine ist für eine Vielzahl von IC-Produktionsbedürfnissen gut geeignet und wird von den meisten IC-Fertigungsanlagen verwendet.
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