Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9158029 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 (CTM7) ist eine für die Reinigung und Verarbeitung von Wafern optimierte Photolackausrüstung. Das System verwendet einen Hochleistungsstrahlrekorder (HBR), um hochauflösende Bilder von Halbleiterscheiben zu erfassen und zu verarbeiten. Das CTM7 verfügt über einen dreiachsigen Transpositionstisch, um eine präzise Positionierung des Wafers für den bildgebenden Prozess zu ermöglichen. Der bildgebende Prozess nutzt eine Vielzahl von Werkzeugkonfigurationen und verwendet bis zu zwölf (12) erweiterte Objektive für dynamisches Wafer-Scanning. Die Linsen sind in der Lage, Funktionen auf dem Wafer mit einer Auflösung von bis zu 25 Nanometern (nm) zu erfassen und zu verarbeiten. Der CTM7 verwendet Photoresist-Technologie, um das Bild der Halbleiterscheibe zu erfassen. Photoresist ist ein lichtempfindliches Material, das in der modernen Halbleiterherstellung verwendet wird, um ein Muster auf der Oberfläche des Wafers zu erzeugen. Die CTM7 beleuchtet den Wafer mit einem Laserlicht entsprechender Wellenlänge, während die HBR-Kamera das reflektierte Bild aufnimmt. Das aufgenommene Bild wird dann digitalisiert und zur weiteren Verarbeitung aufgezeichnet. Das CTM7 kann mehrere Schichten Photolack auf dem Wafer tragen, wobei die erforderlichen Schichten durch das Gerätedesign bestimmt werden. Das CTM7 ist auch mit einer einzigartigen Multi-Dimension-Wafer-Shuttle-Einheit (MDSS) ausgestattet. Mit dem MDSS können Wafer schnell zwischen der HBR-Kammer und den Prozesskammern übertragen werden. Der MDSS ermöglicht auch die rückseitige Abbildung des Wafers, was die Fähigkeit der Fotolackmaschine erhöht, Merkmale des Geräts zu erfassen und aufzuzeichnen. Die fortschrittliche Technologie und Funktionen des CTM7 machen es zu einem der fortschrittlichsten und zuverlässigsten verfügbaren Photolacksysteme. Das Werkzeug ist auf maximale Effizienz und Zuverlässigkeit ausgelegt, was die Kosten der Halbleiterherstellung reduziert. Darüber hinaus umfasst das CTM7 eine Vielzahl von Sicherheitsfunktionen wie automatische Kassen, Abschaltschutz, Laser-Deaktivierung und Not-Aus. Diese Eigenschaften machen das CTM7 zu einer der sichersten Optionen für die Halbleiterherstellung.