Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9165446 zu verkaufen
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ID: 9165446
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
(2) Coater / (3) Developer system, 8"
Dual blocks
Interface
ASML Stepper
Wafer flow: Right to left
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 (CTM7) ist eine Photoresist-Ausrüstung, die präzise Muster scannt, um präzise Schablonen und geätzte Muster auf einer Vielzahl von Substraten zu erzeugen, einschließlich Metalle, Elektronik, Glas und andere. Dieses System wurde entwickelt, um die neuesten Halbleiter- und Verpackungstechnologien zu nutzen. Es ist mit einem „sauberen“ Druckkopf entworfen, der Staub, Schmutz und andere Verunreinigungen beseitigt, die eine genaue Musterbildung verhindern könnten. Das CTM7 besteht aus einer Shuttle-Einheit, einem Faltenbalg und einem doppelseitigen Futter mit einer Drehplatte. Die Shuttle-Maschine bewegt die Platte oder das Substrat von Station zu Station und führt jeden Schritt des Prozesses automatisch aus. Der Faltenbalg zentriert die Platte und versiegelt den Vakuumbeutel zusammen mit dem Werkzeug. Es gibt drei Stufen des Prozesses. Zunächst wird ein Vorverfahren zur Herstellung der Substratoberfläche zur Abscheidung durchgeführt. Dabei werden Staub, Schmutz oder andere Verunreinigungen von der Oberfläche des Substrats entfernt. Der Prozess wird durch Erwärmen des Substrats abgeschlossen, um eine effiziente Haftung zu ermöglichen. Anschließend erfolgt die Photolackabscheidung. Photoresist ist eine Flüssigkeit, die Licht ausgesetzt wird, dann erstarrt, wenn gehärtet. Mit einem Laserstrahl wird das Substrat dem Photolackmaterial mit einer Genauigkeit von 0,5 µm ausgesetzt. Dieser Stepper ermöglicht Präzisionsmuster und Ätzen des Substrats. Schließlich erfolgt die Nachbearbeitung. Dieser Schritt entfernt alle verbleibenden Photolacke aus dem Substrat. Eine heiße Flüssigkeitswäsche mit anschließender Substrattrocknung und elektrochemischem Ätzen vervollständigt den Prozess. Das Ergebnis ist eine hochpräzise, hochzuverlässige Schablone, die für viele Anwendungen eingesetzt werden kann. Das CTM7 ist ein effizientes und kostengünstiges Werkzeug, da es bis zu Platten gleichzeitig handhaben kann, mit genauen Aufdrucken, die in weniger Zeit als herkömmliche Verfahren geliefert werden. Dadurch reduziert die CTM7 den Energieverbrauch bei gleichzeitiger Optimierung der Produktion.
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