Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9165478 zu verkaufen
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ID: 9165478
Wafergröße: 8"
(3) Coater system, 8"
PIQ / Polyimide coater
Single block.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die hervorragende Leistung für innovative Lithographieverfahren bietet. Es ist für die fortschrittliche Maskenherstellung konzipiert, mit einem Fokus auf der Produktion von großen Mengen verschiedener Anwendungen wie High-Density-LCD, Flachbildschirme, Halbleiterbauelemente und andere fortschrittliche Elektronikfertigung. TEL Clean Track Mark 7 bietet eine Lithographie-Verarbeitung mit einem nassen Schienensystem, mit einem optimierten Photoresist-Musterverfahren für verbesserte Ausbeuten und Durchsatz. Es unterstützt eine breite Palette von Substratgrößen und -konfigurationen und kann bis zu 120 Substrate gleichzeitig pro Stunde handhaben. Das Gerät ist mit einer hochpräzisen Laser-Fokussiermaschine ausgestattet und liefert überlegene Ätzprofile mit hervorragender Gleichmäßigkeit und Genauigkeit. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 ist mit einem hochauflösenden Masken-Aligner ausgestattet, der einen präzisen Austausch von Masken und Hochgeschwindigkeits-Retikeln ermöglicht, zusammen mit einem fortschrittlichen Chemie-Rezirkulationswerkzeug, das niedrige Rückstandsmengen für optimale Ergebnisse bei Photoresist-Anwendungen. Sein intelligentes Spray-Asset sorgt für konsistenten und optimierten aufgebrachten Resist, während sein fortschrittliches Fokuserkennungsmodell präzise Schrittabdeckung und überlegene Musterplatzierung Genauigkeit erreicht. Die Ausrüstung wurde entwickelt, um eine effektive Waferreinigung mit automatischen Wasch- und Selbstreinigungsmechanismen für Wartung und verlängerte Produktlebensdauer zu gewährleisten. Das System umfasst einen integrierten Datenaustauschport, der eine Echtzeit-Übertragung kritischer Daten zwischen dem Gerät, der Steuerungsanwendung und verschiedenen externen Hosts ermöglicht. Dies gewährleistet einen zuverlässigen und effizienten Betrieb sowie eine effiziente Prozessüberwachung und -steuerung. Clean Track Mark 7 entspricht zahlreichen Industriestandards und ermöglicht eine einfache Integration in die Lithographieumgebung Ihrer Anlage. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 ist eine Hochleistungs-Photoresist-Maschine, die den Anforderungen der fortschrittlichen Elektronikproduktion gerecht wird. Es bietet genaue und zuverlässige Musterergebnisse mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit, Durchsatz und Schrittabdeckung und ist ideal für eine Vielzahl von Fertigungsanwendungen.
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