Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9243715 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7
ID: 9243715
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
(2) Developer system, 8" 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die hochpräzise Ätzprozesse mit hohem Durchsatz durchführen kann. Es ist für den Einsatz bei der Herstellung verschiedener mikroelektronischer Bauelemente wie Halbleiterchips, Feldeffekttransistoren und Dünnschichttransistoren ausgelegt. Das System verwendet einen proprietären, statischen Ladevorgang namens „Clean Track“, der die Notwendigkeit eines Reinigungsprozesses zwischen Schichten von Wafern eliminiert und eine erhöhte Produktionseffizienz ermöglicht. TEL Clean Track Mark 7 enthält eine benutzerdefinierte Umweltkammer, die eine optimale Kontrolle der Temperatur- und Feuchtigkeitsbedingungen während des Ätzvorgangs ermöglicht. Dies verhindert die Bildung statischer Elektrizität auf den Wafern und ermöglicht genauere, wiederholbare Ätzprozesse. Die Mark 7 ist zudem mit einer hochauflösenden Kamera ausgestattet, die eine präzise Steuerung des Ätzvorgangs ermöglicht und hochgenaue und wiederholbare Ergebnisse ermöglicht. Es weist auch einen Mehrzonenregler auf, der Parameter wie Filmdicke, Ätzrate und Gleichmäßigkeit des Ätzens in verschiedenen Bereichen des Wafers gleichzeitig einstellen kann. Das Gerät verfügt über mehrere automatisierte Funktionen für einfache Bedienung. Es kann so programmiert werden, dass automatisch die richtigen Ätzparameter ausgewählt werden, die für einen bestimmten Prozess erforderlich sind, während eine optimale Gleichmäßigkeit und Genauigkeit bei gleichzeitiger Minimierung des Risikos eines Überätzens gewährleistet ist. Darüber hinaus umfasst die Software eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, die die Sicherheit des Personals und die Integrität des Materials beim Ätzen gewährleisten. Schließlich bietet das Mark 7 eine nahtlose Integration mit einer „Clean Track“ Software-Suite für die automatische Datenerfassung, mit der Benutzer schnell auf Datensätze zugreifen, Trends analysieren und Parameter nach Bedarf anpassen können. Die Software enthält auch eine Ursachenanalyse-Funktion, die Probleme im Prozess identifizieren kann, bevor sie auftreten. Dies verbessert die Leistung und Zuverlässigkeit der Maschine. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 ein fortschrittliches Photoresist-Tool, das konsistentes und hochgenaues Ätzen bietet, mit den zusätzlichen Sicherheits- und Datenerfassungsfunktionen einer modernen Software-Suite, die es zu einer guten Wahl für jeden Ätzvorgang macht.
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