Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9350704 zu verkaufen

ID: 9350704
Weinlese: 1996
Resist coater / Developer system 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die speziell entwickelt wurde, um die höchste Stufe der partikelfreien Verarbeitung für große Platten zu gewährleisten, insbesondere schwer zu reinigende Materialien wie Polyimid und Keramik. Ausgestattet mit einer dualen UV-Beschleunigerquelle eignet sich dieses System besonders für eine verbesserte Plattenreinheit vor der Abscheidung. TEL Clean Track Mark 7 hat zwei Bögen auf der Oberseite, um eine mit Ozon angereicherte Argonatmosphäre zu bestrahlen, um eine saubere Umgebung zu erhalten. Beim Betreten der Kammer führen Platten entlang des glatten Wischkantenprozesses, der ein Hochgeschwindigkeitstuch verwendet, um eventuelle Schmutzpartikel zu entfernen. Dann wird eine progressive UV-Quelle mit hoher Intensität verwendet, um die Plattenoberflächen zu reinigen und potentielle Partikel weiter zu eliminieren. Je nach Art des verwendeten Substrats ist TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 in der Lage, je nach kundenspezifischen Prozessanforderungen genau von 0,1 bis 0,3 Mikrometer zu reinigen. Der Raum des Clean Track Mark 7 ist mit sauberem Stickstoff gefüllt, der kontinuierlich überwacht und kontrolliert wird, um eine optimale partikelfreie Umgebung zu gewährleisten, während eine Reihe anderer Sensoren die Temperatur, Feuchtigkeit und Gaswerte der Kammer ständig überwacht. Zusätzlich wird ein Hochgeschwindigkeitsverschluss installiert, der sich nur öffnet, wenn Panels für maximale Abdeckung ausgerichtet sind. Dies maximiert den Durchsatz und reduziert den Stromverbrauch. Das Bedienfeld von TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 bietet dem Benutzer eine Liste aller zuvor gespeicherten voreingestellten Rezepte sowie die Möglichkeit, bis zu 150 neue Rezepte zu speichern. Eine intuitive grafische Benutzeroberfläche ermöglicht es dem Bediener, schnell die Parameter auszuwählen, die geändert und akzeptiert werden müssen. Darüber hinaus verwendet das Gerät ein leistungsstarkes Selbstdiagnosetool, das die Maschine ständig überwacht und Störungen und Ausfallzeiten begrenzt. TEL Clean Track Mark 7 ist auch mit einem EXECon ausgestattet, das ein fortgeschrittenes Bildanalysetool ist. Diese Ressource kann den Reinigungsprozess aktiv überwachen, um eventuell zu entfernende Partikel und Abfälle zu identifizieren, sodass der Benutzer mögliche Probleme schnell erkennen und schnell beheben kann. Abschließend ist TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 ein ideales Modell für die präzise und schnelle Reinigung großer Platten und anderer schwer zu reinigender Materialien. Die hochgenaue UV-Quelle, das Selbstdiagnosetool und EXECon sorgen für höchste partikelfreie Verarbeitung. Die intuitive Bedienoberfläche ermöglicht eine einfache Bedienung und Rezeptspeicherung, während der kontinuierliche Betrieb des nitogenreichen Reinraums für optimale Reinheit sorgt.
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