Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #190708 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 190708
Coater system, 8"
Coat process: ARC, COT
Main fab:
Mainbody
Qty Item Description
(2) COT Coater units
(2) AD Adhesion units
(6) HP Hot plate units
(2) DHP Dehydration hot plate units
(1) WDS Cup wash unit
(2) COL Cooling units
C/S:
(3) SMIF Stage
Sub fab:
Submodule:
Item Description
SHINWA THC-CP T&H Controller
Chemical box
PR Cabinet
Currently warehoused
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung für die fortschrittliche Substratvorbereitung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist für optimierte Leistung, Genauigkeit und eine höhere Wiederholbarkeit konzipiert und bietet eine ideale Lösung für eine Reihe von Anwendungen zur Geräteherstellung. Das System ist mit Echtzeit-Bewegungssteuerung, Präzisionsrobotik-Handling und fortschrittlichen kamerabasierten Vision-Lösungen ausgestattet, die eine präzise Substratbewegung und genaue Positionierung ermöglichen. Es kann mit bis zu drei Wafern gleichzeitig konfiguriert werden und bietet fortschrittliche automatisierte Optikfunktionen, die eine präzise Ausrichtung von Masken und Substraten ermöglichen. TEL Clean Track Mark 8 verfügt über eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche und ist in der Lage, dicke Folien gleichmäßig zu halten und bietet eine hochgenaue Musterung. Seine fortschrittliche Substrataufbereitungseinheit nutzt eine Kombination aus Reinigungs- und Strippverfahren, wie chemisches Ätzen und Laserstrippen, um Substratoberflächen schnell für eine Reihe von Prozessen vorzubereiten. Darüber hinaus bieten die erweiterte optische Verschiebungs- und Verschiebungsgeschwindigkeitsregelung weitere Genauigkeit und ermöglichen eine zuverlässige und genaue Strukturierung. Die fortschrittlichen Wafer- und Maskenverarbeitungsfunktionen von TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 ermöglichen eine genaue und wiederholbare Mehrfachmaskenüberlagerung und -musterung mit hoher Filmdicke. Dazu gehört ein eigener Maskenhebemechanismus, der in die Vision-Maschine integriert ist, um eine genaue Ausrichtung von Wafer zu Maske zu ermitteln. Clean Track Mark 8 bietet auch eine robuste Überwachungsfähigkeit und das Tool ist mit einem fortschrittlichen Rezept-Management-Asset und einer digitalen Prozesskontrolle ausgestattet, um sicherzustellen, dass effiziente Rezepte auf allen Geräten verfügbar sind. Dazu gehören erweiterte Remote-Überwachungsfunktionen, einschließlich der Möglichkeit, auf Prozessdaten in Echtzeit zuzugreifen. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 ist ein ideales Werkzeug für jede Prozessentwicklungsanwendung, die hohe Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit erfordert. Sein robustes Design und seine fortschrittlichen Funktionen sorgen dafür, dass es für langfristige Leistung optimiert ist, was das Modell zu einer idealen Lösung für fortschrittliche Prozessanwendungen macht.
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