Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #293635984 zu verkaufen

ID: 293635984
(2) Coater / (2) Developer system.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die im Photolithographieverfahren der Halbleiterherstellung verwendet wird. Das Mark 8-System bringt eine dünne Photolackschicht auf einen Wafer auf, der dann ultraviolettem Licht ausgesetzt wird. Diese Einwirkung des UV-Lichts bewirkt eine chemische Reaktion an den Stellen, an denen das Licht belichtet wurde, was die Eigenschaften des Films verändert. Dadurch kann der Photolack nach dem Muster des Lichts weggeätzt werden. Die Mark 8-Einheit ist in der Lage, den Fotolack mit höchster Genauigkeit zu belichten und Muster bis zu einer Größe von 0,4 Mikron zu erzeugen. Dies ist doppelt so genau wie das Vorgängermodell der Clean Track-Serie und hilft, mikrotronische Komponenten von höchster Qualität zu produzieren. Die Maschine verwendet eine proprietäre CCD-Kamera, um den Wafer mit einer Genauigkeit von weniger als 1 Mikron genau zu lokalisieren, um sicherzustellen, dass die Waferausrichtung exakt ist. Das Werkzeug verwendet außerdem eine RIE-Ätzkammer und einen Dreizonenofen, um den Fotolack präzise aufzubringen und zu entfernen. Die RIE-Ätzkammer ermöglicht eine Vielzahl von Ätzbedingungen, um den Photoätzprozess für jede Anwendung anzupassen. Das Mark 8 Asset ist ein fortschrittliches Photolackmodell, das die modernsten und anspruchsvollsten Halbleiterbauelemente verarbeiten kann. Das Gerät bietet nicht nur genaues Ätzen und Ausrichten, sondern ermöglicht auch eine spezielle Abstimmung der Auslaugungsparameter, um eine perfekte Übereinstimmung zwischen dem aufgebrachten Photolack und dem belichteten ultravioletten Licht zu gewährleisten. Das Mark 8 verfügt über einige der fortschrittlichsten Programmiermöglichkeiten auf dem Markt, mit einer intuitiven und benutzerfreundlichen Oberfläche. Es ermöglicht eine Echtzeit-Aktualisierung und Prognose der Waferkapazität, die sicherstellt, dass Chargen von Chips auf Kurs bleiben. Darüber hinaus ist das System in der Lage, Leistungsdaten für jeden Chip zu verfolgen und Probleme zu identifizieren und zu verfolgen, bevor sie zu einem Problem werden. Das Gerät ermöglicht auch eine einfache Datenüberwachung und Analyse von Leistung und Auslastung. TEL Clean Track Mark 8 ist eine leistungsstarke Photoresist-Maschine, die die fortschrittlichsten und anspruchsvollsten mikrotronischen Fertigungsprozesse bewältigen kann. Das Tool ermöglicht eine präzise Waferausrichtung, genaues Ätzen sowie Echtzeit-Überwachung und Datenerfassung, um konsistente Qualität, Leistung und Durchsatz zu gewährleisten. Es ist die perfekte Wahl für jede Halbleiterherstellungsanlage.
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