Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9128616 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 ist eine Photolackverarbeitungsanlage, die zur Verarbeitung von Wafern während der Halbleiterherstellung verwendet wird. Der Photoresist ist ein lichtempfindliches Epoxidmaterial, das selektiv gehärtet wird, wenn es Licht ausgesetzt wird, so dass es ideal für die Photolithographie ist. Mit diesem System wird der Photolack mit einer automatisierten Steuereinheit in einer kontrollierten Umgebung belichtet, entwickelt und abgestreift. TEL Clean Track Mark 8 ist eine modulare Plattform mit einer Auswahl an Kammern, die nach Bedarf montiert werden können. Dies ermöglicht die Durchführung zahlreicher Prozesse wie Resistbeschichtung, Vorbacken, Belichtung, Nachbelichtungsbacken, Entwicklung, Strippen, Trockenstreifen und mehr. Die Maschine ist auch in der Lage, hochpräzise lokalisierte Ätzung, da das Belichtungswerkzeug verwendet einen Laserstrahl mit Schritt-und-Wiederholen-Ausrichtung. Das Werkzeug hält extrem hohe Prozesserträge und ist für einen minimalen Verbrauch von Verbrauchsmaterialien wie Chemikalien und Waffelreinigungsmitteln ausgelegt. Der automatische Monitor hält optimale Prozessbedingungen aufrecht und analysiert Prozessdaten in Echtzeit zur Fehlerbehebung und Reparatur. Es minimiert Ausfallzeiten mit fortschrittlicher präventiver Wartung und bietet eine Reihe von Fähigkeiten, sich von Prozessfehlern oder abriebbedingten Problemen zu erholen. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 verfügt auch über eine Reihe von Funktionen, um die partikelfreie Produktion zu gewährleisten. Sein Wafer-Heizmodell und -Zirkulator sind so konzipiert, dass Kondensation in der Kammer verhindert wird und eine automatische Filterrotationsanlage eine Filterverstopfung verhindert. Mit einer Reihe von Waschbürsten und Strahlungsheizungen innerhalb der Kammer enthält das System Partikel während des Strippvorgangs. Clean Track Mark 8 ist eine effiziente und zuverlässige Photolackeinheit. Sein modularer Aufbau ermöglicht es Anwendern, die Lösung an ihre spezifischen Prozessanforderungen anzupassen, und seine hochpräzisen Laserausrichtungen sorgen für höchste Qualitätsausbeute. Seine fortschrittliche vorbeugende Wartung und Reihe von Partikelrückhaltemerkmalen machen es zu einer wertvollen Maschine für die Halbleiterherstellung.