Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9158018 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8
ID: 9158018
(2) Coater / (2) Developer system, 8" (1) IFB Dual block.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 (CTM-8) ist eine Photoresist-Ausrüstung zur hochauflösenden, schnellen Strukturierung von Halbleitermaterialien. Es bietet eine breite Palette von Funktionen und Funktionen, die es für eine Vielzahl von Anwendungsfällen geeignet machen. Die CTM-8 besteht aus zwei Hauptteilen: der Beschichtungsstation und der Entwicklungsstation. Die Beschichtungsstation besteht aus einem Substratbeladesystem, einer beheizten Vakuumkammer, einem Resistbeschichtungskopf und einer Fördereinheit zum Überführen von Substraten von der Beschickungsmaschine in die Entwicklungsstation. Die Entwicklungsstation umfasst eine beheizte Vakuumkammer, eine Ätzquelle und ein einzelnes Substrattransportwerkzeug, das die Substrate zwischen den beiden bewegt. Das CTM-8 ist mit einem hochauflösenden optischen Abbildungsmaterial ausgestattet, das Bildauflösungen bis zu 0,2 μ m erzeugen kann. Dies ermöglicht eine präzise und präzise Strukturierung empfindlicher Materialien. Das Modell bietet auch eine genaue Substratausrichtung, die eine schnelle, genaue Strukturierung ermöglicht. Darüber hinaus ist die CTM-8 mit einem automatisierten Reinigungsprozess ausgestattet, der Rückstände auf dem geätzten Substrat effizient entfernt. Das CTM-8 wurde entwickelt, um den Photolackbeschichtungsprozess zu optimieren. Es verfügt über eine proprietäre Resist Control-Funktion, die es dem Benutzer ermöglicht, die Dicke des aufgebrachten Resists genau zu überwachen und zu steuern. Dies gewährleistet wiederholbare, zuverlässige Ergebnisse bei jedem Prozessablauf. Darüber hinaus verfügt das Gerät über Smart Profile Control, die bei der Aufrechterhaltung einheitlicher Resist-Line-Profile hilft. Das CTM-8 wurde auch entworfen, um verbesserte Leistung in Betrieb und Wartung zu bieten. Es enthält ein eingebautes Gasrückgewinnungssystem, das hilft, den Gasverbrauch zu reduzieren und dadurch die Funktionsfähigkeit zu erhöhen. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine Schnellwechseldüsenmaschine, die die Düsenwartung vereinfacht und Ausfallzeiten reduziert. Darüber hinaus umfasst das Tool eine menügesteuerte Bedienoberfläche für eine schnelle und einfache Bedienung sowie eine Fernzugriffsfunktion für die Remote-Fehlerbehebung. Insgesamt bietet TEL Clean Track Mark 8 Anwendern eine zuverlässige, robuste und leistungsstarke Photolackverarbeitungslösung. Mit seiner hochauflösenden optischen Bildgebung und der präzisen Steuerung des Resistbeschichtungsprozesses ist die CTM-8 eine ideale Wahl für die Halbleitermusterung. Darüber hinaus sind die automatisierten Wartungsprozesse und die benutzerfreundliche Oberfläche eine gute Wahl für jede Anwendung.
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