Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9184205 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 ist eine fortschrittliche Photolackausrüstung für Halbleiterherstellungsprozesse. Es ist in der Lage, die entscheidenden Schritte der Entwicklung, Belichtung und Nachbehandlung mit hoher Präzision und Effizienz durchzuführen. Dies ermöglicht es, eine Vielzahl von Geräten mit optimierten Eigenschaften und verbesserter Leistung zu erstellen. Im Zentrum des Systems steht eine leistungsstarke Deep UV-Expositionsquelle. Dies ermöglicht eine gleichmäßige Bestrahlung über die gesamte Waferoberfläche und eine genaue Kontrolle der Musterauflösung und der Linien-/Raumbreiten. Die Belichtungszeit kann auf kleinere Formelementgrößen und höhere Seitenverhältnisse abgestimmt werden, was komplexere Muster mit eng beabstandeten Linien und komplexeren Geometrien ermöglicht. Das Gerät ist mit einer chemischen Abgabemaschine ausgestattet, die hochgenaue peristaltische Pumpen verwendet, um die Entwicklerchemikalien mit kontrollierter Geschwindigkeit auf den Wafer aufzubringen. Dadurch wird sichergestellt, dass der Photolack mit der erforderlichen Intensität und gleichmäßig entwickelt wird. Der Nachbehandlungsprozess wird mit einer Static & Dynamic Balancing-Funktion optimiert, die die Neigung und Geschwindigkeit des Entwicklerpads sowie die chemische Dosierrate feinjustieren kann. Die Mark 8 ist für maximale Bedienersicherheit ausgelegt. Es verfügt über ein eingebautes Rauchabzugswerkzeug, das automatisch luftgetragene Chemikalien und Laborkontaminate filtert, um den Benutzer vor Exposition zu schützen. Darüber hinaus soll die Anlage die strengen Vorschriften über korrosive chemische Handhabung und die Lagerung und Entsorgung giftiger Materialien erfüllen oder übertreffen. Um höchste Leistung und Zuverlässigkeit zu gewährleisten, wird das Modell vor der Auslieferung streng getestet und kalibriert. Dazu gehören verschiedene Simulationen zur Simulation der Effekte von Fehlerpegeln in der Photolackschicht, um die optimalen Einstellungen für jede Anwendung zu ermitteln. TEL Clean Track Mark 8 wurde entwickelt, um eine flexible und kostengünstige Fotolackverarbeitung zu ermöglichen. Die präzise Steuerung der Lichtenergie, die präzise Abgabe von Chemikalien, die dynamische Auswuchtung und die automatisierte Sicherheit machen es zu einem idealen Werkzeug für die Halbleiterherstellung.