Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9250395 zu verkaufen
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ID: 9250395
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
(2) Coater / (2) Developer system, 8"
Upgraded from Mark 7
Single block
Interface
NIKON Stepper
Wafer flow: Left to right
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung mit einem Mikroübertragungs- und Hochleistungs-Wafer-Handling-System. Es ist in der Lage, qualitativ hochwertige Photolackverarbeitung bis zu 300mm Wafer. TEL Clean Track Mark 8 Einheit bietet eine Reihe von Optionen zur Zyklusvakuumverträglichkeit und eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen wie Trockenstreifen/Ätzen, Reinigung, Ätzen und Spin Coat. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 wurde entwickelt, um überlegene Waferausrichtungsgenauigkeit, Zuverlässigkeit und Nutzlast bis zum Ziel bereitzustellen. Das Hochgeschwindigkeits-Ausrichtwerkzeug der Maschine ermöglicht einen sicheren Transfer ohne Waferschäden. Das Asset verfügt außerdem über eine einzigartige Struktur, die die Notwendigkeit einer schwimmenden Spur eliminiert und das Problem des Wafer-Chuckings bei der Übertragung von Wafern beseitigt. Der Micro-Transfer des Clean Track Mark 8-Modells basiert auf einer Drehplattform und ist in der Lage, mehrere Wafer gleichzeitig zu übertragen, was den Prozessdurchsatz erhöht. Die Ausrüstung zeigt auch eine schnelllaufende, hochauflösende Kamera, um genaue Anordnung und Registrierung des Photowiderstehens auf die Oblate zu sichern. Die Kamera ist mit einem Bildverarbeitungssystem ausgestattet, das in der Lage ist, minutiöse Musteränderungen zu erkennen, so dass es ideal für die Produktion von fortgeschrittenen Mustergeräten ist. Ein weiteres Merkmal der TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8-Einheit ist die High-End-Wafer-Handhabungsmaschine. Das Werkzeug ermöglicht das gleichzeitige Be- und Entladen mehrerer Wafer, um die Kosten und die Zeit des Prozesses zu minimieren. Das Asset bietet auch automatisches Scheren und Quarzschneiden sowie automatisierte Chargenverarbeitung. Dies ermöglicht die effiziente Bearbeitung von Wafern von der ersten bis zur letzten Stufe, spart Zeit und sorgt für eine effiziente Prozesssteuerung. Das Modell bietet auch fortschrittliche Tools und Lebenszyklus-Services für eine effiziente Prozesssteuerung. Dazu gehören Prozessüberwachung, Prozessüberprüfung und Prozessdiagnose. Darüber hinaus verfügt TEL Clean Track Mark 8 über eine integrierte Prozesssimulationssoftware, ein SOP- und Rezeptmanagement-System sowie eine Predictive Maintenance Unit. Schließlich ist TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 Maschine entworfen, um die Genauigkeit und den sicheren Betrieb in allen Photolackprozessen durch seine umfassenden Sicherheitsmerkmale zu optimieren. Dazu gehören ein druckempfindliches Glasscheibenfutter, eine Sicherheitsdrehtür, Verriegelungen und eine Vielzahl weiterer Sicherheitsmerkmale. Diese Merkmale gewährleisten die Sicherheit der Bediener sowie Zuverlässigkeit und Leistung.
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