Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9250396 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 ist eine revolutionäre Photolackausrüstung, die speziell für Trockenätzanwendungen entwickelt wurde. Dieses System verwendet ein neuartiges Verfahren, um mehr als die doppelte Genauigkeit und extreme Gleichmäßigkeit der geätzten Merkmale im Vergleich zu den traditionellen Nassätzprozessen zu liefern. TEL Clean Track Mark 8 besteht aus einer Zweikammer-Einheit, die eine Prozeßkammer mit Atmosphärendruck und eine eigene Resistentfernungskammer enthält. Mit einem Place-and-Etch-Lader wird Photolack automatisch auf die Substratplatte gelegt, was eine unabhängige Optimierung des Ätzprozesses vor dem Ätzprozess ermöglicht. Die Prozesskammer enthält einen Vakuumspiegel von bis zu 0,1 mbar und wird mit der Verwendung von Plasmagasquelle und Eingangsgasquellen kombiniert. Die Plasmagasquelle dient zur Nitrierung der Substratoberfläche vor dem Ätzen und die Eingangsgasquelle zur Erzeugung der Plasmaenergie, die zur Reaktion mit dem Photoresist und zur Ätzung des Substrats verwendet wird. Das einzigartige Design der Prozesskammer verfügt über einen patentierten „Direktantrieb“, wodurch keine externe Stromquelle für die Kammer benötigt wird. Diese Maschine ist auch entworfen, um unerwünschte Partikelerzeugung während des Ätzprozesses zu reduzieren, um eine saubere und gleichmäßige Ätzung zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 verfügt auch über eine fortschrittliche chemikalienbeständige Edelstahlmaterialkammer Design. Diese Konstruktion eliminiert Kreuzkontaminationen und eliminiert langfristige Korrosion von Materialien innerhalb der Kammer. Die Kammer ist eindeutig versiegelt, um Gas- oder Partikelaustritt zu verhindern und die Leistung des Ätzprozesses zu gewährleisten. Zusätzlich wird die Kammer temperaturgeregelt, wodurch konsistente Ätzergebnisse gewährleistet sind. Das Steuerungstool von Clean Track Mark 8 verfügt über eine erweiterte grafische Benutzeroberfläche (GUI) und einen einfachen Fernzugriff für Wartung und Analyse. Auf diese Weise können die Prozessparameter wie Temperatur, Druck, Strom und Gaskonzentrationen überwacht werden. Durch diese Steuerungen ist eine Prozessnachverfolgbarkeit und Datenerfassung von Ätzparametern möglich, die eine Optimierung der Ätzprozesse ermöglicht. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 ist mit Blick auf Sicherheit und Umwelt konzipiert, einschließlich der Reduktion von flüchtigen organischen Verbindungen (VOCs), die in die Atmosphäre freigesetzt werden. Bei wirtschaftlichem Design benötigt das Modell weniger Energie und senkt die Betriebskosten. Insgesamt ist TEL Clean Track Mark 8 eine revolutionäre Photolackausrüstung, die speziell für Trockenätzprozesse entwickelt wurde und den Anwendern präzise, konsistente Ergebnisse liefert. Das fortschrittliche Design des Systems macht TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 zu einer zuverlässigen, kostengünstigen Wahl für diejenigen, die ihre Ätzprozesse verbessern möchten.