Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9269254 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 ist eine fortschrittliche Photoresist-Ausrüstung für Nasschemie-Prozesse. Es besteht aus zwei Hauptkomponenten, dem RobotCVision Ultra-High-Accuracy Machine Vision System und der fortschrittlichen Vakuum-Druck Chemical Vapor Deposition (VPCVD) -Prozesstechnologie. Der RobotCVision verwendet eine extrem hohe Genauigkeit und schnelle Scantechnologie, so dass er in der Lage ist, die Photolackmustergrößen, -ausrichtungen und -abstände genau zu steuern. Das VPCVD-Verfahren wird dagegen zur Abscheidung des Dünnfilms auf der Oberfläche des Wafers während des Ätzvorgangs eingesetzt. Zusammen sorgen die beiden Komponenten für eine schonende Handhabung und minimale Verschmutzung, was zu einer hochgenauen und gleichmäßigen Oberflächengüte auf Wafern führt. TEL Clean Track Mark 8 ist vorprogrammierbar und ermöglicht ein automatisches Tuning, das sowohl die Ablagerungs- als auch die Ätzgeschwindigkeit optimiert und konstante qualitativ hochwertige Ergebnisse bei gleichzeitiger Minimierung von Ausfallzeiten gewährleistet. Es beinhaltet auch Wärmemanagementtechnologien und ermöglicht eine Freiformprofilanpassung. Die Wafer werden dem Dünnfilm ausgesetzt und Photoresists kontrolliert, gleichmäßig aufgebracht, um die Genauigkeit zu gewährleisten. Die Maschine wird auch mit zwei Backplattenfunktionen geliefert, die den Fokus auf Vor- und Nachbearbeitungen erleichtern. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 ist eine zuverlässige und robuste Lösung für die Photolackverarbeitung. Es bietet Anwendern eine umfassende Lösung für die Waferbearbeitung und bietet überlegene Prozessgleichmäßigkeit über alle Wafer, auch bei höchsten Seitenverhältnissen. Das Asset ist auch eine kostengünstige Wahl für Waferätzen und Dünnschichtabscheidung, um wiederholbare und zuverlässige Photoresist-Prozessergebnisse zu gewährleisten. Sowohl die RobotCVision als auch die VPCVD-Technologie bieten eine mehrstufige Prozesssteuerung, um eine konsistente, akzeptable Leistung des Modells zu gewährleisten. Darüber hinaus ermöglicht der fortschrittliche Steuerungsalgorithmus der Clean Track Mark 8 Ausrüstung einen schnellen, reibungslosen Rezeptübergang mit Prozessrobustheit.