Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9395945 zu verkaufen
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ID: 9395945
Weinlese: 1995
Coater / Developer system
COT
ARCCOT
(2) DEV
WEE
Missing parts:
AD ASSY Unit
UL200T-L1
Circulator
Main arm
C/S Unit bottom fan
(6) Fuses, 2 A
T&H CPB-2-M2, Cup temperature cooker body
WEE Driver ASSY
Surge Tank Controller
Inheritor PC
Spin motors
Spin drivers
I/D X-axis driver
I/D Y-axis driver
I/D Z-axis driver
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 ist eine hochpräzise, automatisierte Photoresist-Ausrüstung, die hochwertige Muster im Halbleiter- und FPD-Produktionsprozess erzeugt. Photoresist ist ein lichtempfindliches Polymermaterial, das verwendet wird, um Muster auf einem Substrat zu erzeugen. TEL Clean Track Mark 8 konzentriert sich auf die Erzielung einer extrem präzisen und wiederholbaren Strukturierung von Photoresist. Es bietet schnelle, zuverlässige Belichtungsfunktionen, um konsistente Genauigkeit und hochwertige Muster zu gewährleisten. Das System verfügt über eine robuste Steuereinheit mit leistungsstarker Signalverarbeitung und -steuerung, um eine präzise Positionierung zu gewährleisten. Es ist auch mit hochpräziser Strahlabtastung ausgestattet, die es ermöglicht, nanoskalige Muster mit einer Wiederholbarkeit von weniger als einem Nanometer zu erstellen. Die integrierte Bewegungssteuerungsmaschine von TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 umfasst hochauflösende lineare Encoder, Schrittmotorregler und Schwingspulenmotorregler. Dies ermöglicht eine präzise Bewegungssteuerung für eine Vielzahl von Anwendungen. Die Bildauflösung beträgt bis zu 13um (0,0005 "), um die Anforderungen einer Vielzahl von Anwendungen zu erfüllen. Clean Track Mark 8 enthält auch einen fortschrittlichen Feldemissionselektronenstrahl, der Linsenaberrationen minimiert und einen hochkohärenten, gleichmäßigen Elektronenstrahl liefert. Dieser hochauflösende Elektronenstrahl ermöglicht niedrige energetische Elektronenbelastung und Kurzschreibzeiten. Das Werkzeug bietet auch eine verbesserte Kontaminationskontrolle und minimiert die Auswirkungen von Umweltveränderungen auf die Leistung der Ausrüstung. Die Anlage ist für eine einfache Integration in eine Produktionslinie ausgelegt. Das benutzerfreundliche Touch Panel LCD kann mit einer drahtlosen Fernbedienung und gestenbasierten Befehlen bedient werden. Das Modell umfasst auch integrierte Produktivitätsüberwachungssoftware, sodass Hersteller den Prozessfortschritt leicht verfolgen und die gesamten Prozessbedingungen kontrollieren können. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 liefert mehr Präzision, höhere Effizienz und verbesserte Produktivität. Diese Photoresist-Ausrüstung wurde entwickelt, um die Anforderungen der Halbleiter- und FPD-Produktionslinien zu erfüllen, um qualitativ hochwertige und leistungsstarke Ergebnisse zu gewährleisten.
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