Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark Vz #142532 zu verkaufen
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ID: 142532
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1994
(1) coater / (2) developer system, 6", 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark Vz ist eine Hochleistungs-Photoresist-Ausrüstung, die entworfen wurde, um Kontamination zu minimieren und gleichzeitig eine zuverlässige und schnelle Photoresist-Vorbereitung bereitzustellen. Das System verfügt über einen gleisbasierten Reinigungsprozess, bei dem Proben mit einem geschlossenen Kreislauf be- und entladen werden, sowie eine Hochleistungsprozesskammer, die die Umwelt sauber und frei von Kontaminationen hält. Das Gerät nutzt eine einzigartige Track-basierte Reinigungsarchitektur, die einen beispiellosen Schutz vor Kontamination bietet. Dies beinhaltet eine geschlossene Transportstrecke, die die Freisetzung von Partikeln in die Umgebung der Maschine verhindert, Reinraumböden und ein speziell entwickeltes Filterwerkzeug, um eine optimierte Luftströmung und Sauberkeit vom Eingang zur Ausgangsseite der Strecke zu gewährleisten. Die Kammer besteht aus einem edelstahlplattierten Innenraum und einer kathodischen elektrolytischen Beschichtung für optimale Sauberkeit für die Kammerumgebung. Die Kammerwände sind mit einer speziellen dielektrischen Spiegelbeschichtung beschichtet, um Infrarotstrahlung zu reflektieren und einen präzisen Lichtfokus zu gewährleisten. Die Kammer verfügt auch über einen Satz von Fensterläden und eine Luftstrom-Aufprallvorrichtung, um die lokale Reinigung und Kontaminationskontrolle zu unterstützen, sowie mehrere Sicherheitsmerkmale, um Unfälle oder Fehlhandlungen zu vermeiden. Das Modell verfügt zudem über einen Hochgeschwindigkeitsreinigungsprozess mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten, die an die spezifischen Anforderungen des Anwenders angepasst werden können. Dies ermöglicht eine präzise Kontrolle über die Reinigung einer Vielzahl von Proben, groß oder klein. Der Gleisreinigungsprozess wird durch die Verwendung einer einstellbaren Geschwindigkeits-Waschwalze und einer Luftströmung weiter verbessert, um verschmutzungsfreie Ergebnisse zu gewährleisten. Das Gerät wird durch seine benutzerfreundliche Software, die Funktionen wie Echtzeit-Überwachung der Photoresist-Abscheidung, Datenerfassung und -analyse, Auto-Rezept-Generierung, Defokus und wiederholte Rezeptausführung, Musterabwicklung und Abschlussbericht-Management bietet, weiter erweitert. Die Benutzeroberfläche ist intuitiv, einfach zu bedienen und erfordert kein umfangreiches Training für eine optimale Nutzung. Insgesamt bietet TEL Clean Track Mark Vz ein zuverlässiges, verschmutzungsfreies und leistungsstarkes Photolacksystem, das sich ideal für eine Vielzahl von Anwendungen eignet. Sein streckenbasiertes Reinigungsverfahren ermöglicht eine präzise Kontrolle der Vorbereitung von Proben jeder Größe und seine benutzerfreundliche Oberfläche macht es auch für Anfänger einfach zu bedienen.
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