Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #293587658 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ist eine spezialisierte Photolackausrüstung, die im lithographischen Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauelementen eingesetzt wird. Das System nutzt eine Kombination aus photolithographischen und naßchemischen Prozessen, um Objektsubstrate wie Halbleiterscheiben, Flachbildschirme und LCDs zuverlässig zu strukturieren. Die Einheit besteht im Grunde aus drei Hauptkomponenten. Dies sind ein Belichtungsmodul, ein Waschmodul und ein Trocknungsmodul. Das Belichtungsmodul dient zur lithographischen Strukturierung mit einer Lichtquelle und einer Maskierungsplatte. Als Lichtquelle kann je nach Wafertyp entweder eine Laser- oder Ultraviolettlichtquelle verwendet werden. Die Maskierplatte enthält das auf den Wafer zu übertragende lithographische Muster. Mit dem Waschmodul wird dann der verbleibende Photoresistrückstand nach der Belichtung aus dem Wafer entfernt. Dabei werden eine Resistentfernung/Ätzchemikalien geregelt und aufgebracht sowie ein Lösungsmittel (üblicherweise Wasser) zur Entfernung von restlichen Photoresistrückständen. Es ist entscheidend, dass dieser Schritt genau durchgeführt wird, um Sauberkeit und die Genauigkeit des Musters zu gewährleisten. Der letzte Schritt ist das Trocknungsmodul. Dieser Schritt wird verwendet, um jegliche Feuchtigkeit auf der Oberfläche des freiliegenden Wafers zu entfernen. Auch hier ist es wichtig, sehr geringe Feuchtigkeit zu haben, um die Genauigkeit der lithographischen Strukturierung zu gewährleisten. Dabei wird zur Beschleunigung des Trocknungsprozesses ein Trocknungsmittel wie Alkohol oder Isopropylalkohol eingesetzt. Die Photoresist-Maschine von TEL Clean Track mustert Wafer schnell und präzise mit zuverlässigen Ergebnissen. Durch die Kombination modernster photolithographischer und naßchemischer Prozesse sorgt das Werkzeug dafür, dass exakte Muster und saubere Oberflächen auf den Zielsubstraten entstehen. Darüber hinaus ermöglicht der modulare Aufbau eine einfache Anpassung und Verbesserung, um den spezifischen Bedürfnissen der Benutzer gerecht zu werden.