Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #293751150 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ist eine Photolackanlage zur Verarbeitung von Wafern im Halbleiterherstellungsprozess. Das System ist so konzipiert, dass es eine stabile und gleichmäßige Resistbeschichtungsumgebung bietet, die dazu beiträgt, die Anzahl der Resistfehler durch Umweltquellen zu reduzieren. Die Einheit besteht aus drei Kernkomponenten: der Transport Exhaust Machine (TES), dem Uniformity Area Control Tool (UACS) und dem Dryer Area Interlock Asset (DAIS). Das Transport Exhaust Model (TES) behält eine stabile Umgebung für den Photoresist-Beschichtungsprozess bei, indem die Ein-/Auslassdruckbeaufschlagung des gesamten Bearbeitungsbereichs gesteuert wird. Das TES misst den Druck, steuert den Ein-/Auslassluftstrom, sorgt für einen effizienten Luftstrom mit geringer Turbulenz und minimaler Verschmutzung. Das TES sorgt für eine verbesserte Partikelverteilung, die Resistfehler reduziert. Die Uniformity Area Control Equipment (UACS) wurde entwickelt, um die Gleichmäßigkeit der Resistbeschichtungen auf den Wafern zu gewährleisten. Sie nutzt einen gleichmäßigen Luftstrom, um eine gleichmäßige Verteilung des Photolacks über die Oberfläche des Wafers zu erhalten. Dies hilft bei der Herstellung konsistenter, hochwertiger Photoresist-Beschichtungen auf dem Wafer, der Verbesserung der Ausbeuten und der Reduzierung von Defekten. Das Dryer Area Interlock System (DAIS) bietet eine sichere und sichere Umgebung für den Trocknungsprozess. DAIS steuert den Ein- und Auslassluftstrom innerhalb der Trockenkammer, wodurch die Gleichmäßigkeit der Resistbeschichtung über den gesamten Wafer gewährleistet ist. DAIS trägt auch dazu bei, die Sicherheit durch die Überwachung der Umgebung der Trockenkammer auf mögliche Gefahren zu erhöhen und wird bei Bedarf geeignete Maßnahmen zum Schutz des Wafers ergreifen. TEL Clean Track ist eine fortschrittliche Photolackeinheit, die eine zuverlässige und konsistente Verarbeitung von Halbleiterscheiben ermöglicht. Die Maschine besteht aus drei Hauptkomponenten, die zusammenarbeiten, um einheitliche Resistbeschichtungen, verbesserte Ausbeuten und weniger Defekte bereitzustellen. Durch die Steuerung der Ein-/Auslassdruckbeaufschlagung, der gleichmäßigen Luftströmung und der Feuchtigkeit im Bearbeitungsbereich ermöglicht das Werkzeug verbesserte Resistbeschichtungen mit minimalen Verunreinigungen. Der Vermögenswert trägt dazu bei, das Risiko von Fehlern zu verringern, qualitativ hochwertigere Produkte und verbesserte Erträge zu gewährleisten.