Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #293804761 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ist eine Photoresist-Ausrüstung, die für die fortschrittliche Photolithographie verwendet wird. Das System verwendet eine Vielzahl fortschrittlicher Technologien, um eine präzise Ausrichtung und Auflösung bei der Herstellung von mikrofabrizierten Geräten zu gewährleisten. Die TEL Clean Track-Einheit ermöglicht eine präzise und genaue Lithographie, indem sie sich auf die Verringerung der Partikelverunreinigung im Lithographieverfahren konzentriert. Dies geschieht durch die Integration mehrerer Technologien wie effiziente Luftfiltration, Staubabsaugung und Verfahren zum Sammeln und Entfernen von Abfällen. Die spezifischen Verfahren variieren je nach Art der verwendeten Lithographieanlagen, umfassen jedoch typischerweise die folgenden Schritte. Zunächst recycelt die Maschine die Luft im Lithographieraum und entfernt Partikel, die statische Elektrizität erzeugen. Dies hilft auch, den Raum staubfrei zu halten. Zweitens ist ein Staubabsaugwerkzeug vorhanden, um Staubpartikel aus der Luft herauszufiltern. Dies geschieht durch eine Kombination aus hocheffizienter Filtration, zyklonischen Staubabscheidern und Aktivkohle-Luftreinigungstechnik. Drittens verhindert das Gut, dass Partikel im Bereich in die Lithographiekammer gelangen. Das Modell setzt eine Düse ein, um Schwebeteilchen sanft aus der Kammer zu entfernen, die hochwirksam ist, um zu verhindern, dass Partikel in das hochauflösende Feld der Lithographiemaschine gelangen. Viertens nutzt das Gerät mehrere Technologien, um eine präzise Ausrichtung der Kontaktmaske für das hergestellte Gerät zu gewährleisten. Dazu gehören die Verwendung mehrerer Arten von Lichtquellen, die optische Ferrule-Ausrichtung und hochpräzise laserorientierte Referenzpunkte. Alle diese Merkmale stellen sicher, dass das hergestellte Gerät genau ausgerichtet ist. Schließlich kann das System nicht nur eine genaue Ausrichtung gewährleisten, sondern auch das Potenzial für Verunreinigungen in die Lithographiekammer reduzieren. Dies geschieht durch eine außerhalb der Lithographiekammer befindliche Sekundärreinigungsstation. Diese Station ist mit Hochleistungsfiltern ausgestattet, um eventuell in die Kammer eingebrachte Abfälle oder Partikel zu fangen. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON Clean Track eine fortschrittliche Photolithographie-Maschine, die zahlreiche Technologien verwendet, um eine präzise Ausrichtung und Genauigkeit des hergestellten Geräts zu gewährleisten. Das Werkzeug hilft auch, Kontaminationen im Lithographieprozess zu reduzieren, indem es eine kontaminationsfreie Umgebung schafft.