Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #9281924 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ist eine Photoresist-Ausrüstung, die eine genaue Strukturierung und einen hohen Durchsatz in der Halbleiterherstellung ermöglicht. Das System besteht aus einer Reihe von Komponenten, die präzise Funktionen bei gleichzeitiger Optimierung der Bearbeitungszeiten gewährleisten. Die Kerntechnologie des Geräts ist eine fortschrittliche Photoresist-Zusammensetzung, die weniger Belichtungszeit benötigt als herkömmliche Prozesse, wodurch mehr Funktionen auf einen einzelnen Wafer geätzt werden können. Um eine maximale Kontrolle des Fotolacks zu gewährleisten, verfügt die Maschine über ein erweitertes Bildverarbeitungsmodul, das eine höhere Genauigkeit und Auflösung bei der Strukturierung ermöglicht. Darüber hinaus verwendet das Werkzeug Laser, um eine genaue Ätzung sowie eine präzise Ausrichtung des Fotolacks auf dem Wafer zu gewährleisten. Für die Ablagerung verwendet das Asset erweiterte Ablagerungsstrategien, die helfen, konsistente Funktionen und eine einheitliche Ablagerung auf den Wafern zu erstellen. Dies ermöglicht eine verbesserte Herstellbarkeit und eine höhere Ausbeute des Fertigprodukts. Zur weiteren Steuerung umfasst das Modell ein Heizelement, das den Wafer für eine präzise Materialhandhabung auf eine bestimmte Temperatur erwärmt. Wärme wird auch für schnelle thermische Zyklusverbindungen verwendet, um die Prozesszeiten sowie die Ausbeute zu verbessern. Um den Verschleiß von Werkzeugen im Laufe der Zeit zu schützen, umfasst die Ausrüstung auch die automatische Reinigung der Photolackanlage. Dies geschieht durch seinen integrierten Reinigungszyklus, der Verunreinigungen oder Rückstände aus dem Wafer entfernt. Darüber hinaus verwendet es auch ein spezielles Ultraschallreinigungsverfahren, das Stiction und Kontamination minimiert, die Oberflächengleichförmigkeit verbessert und genauere Prozesse ermöglicht. Schließlich verfügt das Gerät auch über eine fortschrittliche Materialsteuerungsmaschine, die fortschrittliche Algorithmen verwendet, um die beste Platzierung von Funktionen zu modellieren, um die Prozesszeiten zu optimieren und gleichzeitig die Integrität des Features zu erhalten. Das Tool bietet auch Rückverfolgbarkeit, so dass die Prozesse durch die Analyse von Daten aus mehreren Produktionsläufen weiter verbessert werden können. Zusammenfassend ist TEL Clean Track ein umfassendes Photoresist-Asset zur Verbesserung von Bearbeitungszeiten und Erträgen. Mit fortschrittlichen Bildgebungs-, Abscheide- und Reinigungsstrategien sowie Materialkontrolle sorgt das Modell für präzise Funktionen bei gleichzeitiger Aufrechterhaltung der Qualität des Endprodukts. Durch Laser, automatisierte Reinigung und ausgeklügelte Algorithmen bietet das Gerät ein zuverlässiges und effizientes Verfahren zur Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente.