Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #9360709 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ist eine Präzisions-Photoresistausrüstung, die entwickelt wurde, um dünne Resist-Filme genau und konsequent auf Wafern abzulegen. Entwickelt für die Herstellung von hochauflösenden Schaltungen in einer Vielzahl von mikroelektronischen Geräten, ist TEL Clean Track seit fast zwei Jahrzehnten im kommerziellen Einsatz. Im Zentrum des Designs von TOKYO ELECTRON Clean Track steht eine spezialisierte Vakuum-Stapel-Abscheidekammer, die speziell für das präzise Auftragen von Resist auf ein Substrat entwickelt wurde. Die Kammer arbeitet in zwei Stufen: Erstens entsteht innerhalb der Begrenzungen der Kammer ein spezifischer Resistfluss, der auf das Substrat gerichtet ist. Nach dem Aufbringen der richtigen Resistmenge wird der Streuer zur gleichmäßigen Beschichtung des Substrats verwendet. Der Spreader arbeitet mit Ultraschallfrequenzwellen, die Vibrationen und gleichmäßige Abscheidung des Resistes verursachen. Das Design von Clean Track bietet mehrere wesentliche Vorteile gegenüber anderen Systemen. Erstens, weil Resist in gleichmäßigen Schichten aufgebracht wird, erzeugt es scharfe und genaue Schaltungsleitungen, die bis zu 15 Nanometer genau sind. Dies ermöglicht die Herstellung von elektronischen Komponenten mit hoher Dichte, und die Systeme der aktuellen Generation TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track sind in der Lage, Funktionsgrößen von bis zu 8 Nanometern herzustellen. Darüber hinaus kann das System aufgrund seiner präzisen Anwendung von Resist Zuverlässigkeitskonsistenz über Millionen von Geräten bieten. Um eine optimale Leistung zu gewährleisten und Ausfallzeiten zu reduzieren, hat TEL mehrere Funktionen in TEL Clean Track integriert. Zu den bemerkenswertesten Funktionen gehören die fortschrittlichen Prozessüberwachungs- und Steuerungssysteme, die eine Echtzeit-Überwachung und Anpassung der Verarbeitungsparameter ermöglichen. Dies ermöglicht eine größere Kontrolle über die Waferqualität und erhöht die Betriebszeit. Zusätzlich sind eine Reihe von Sicherheitssystemen eingebaut, wie z.B. ein modifizierter Luftausstoßer, um ein Eindringen gefährlicher Partikel in die Kammer zu verhindern. Abschließend bietet TOKYO ELECTRON Clean Track der Mikroelektronikindustrie eine zuverlässige und präzise Photolackmaschine. Mit genauen Linienbreiten bis zu 8 Nanometern, modernsten Prozessüberwachungs- und Sicherheitssystemen bietet Clean Track beispiellose Genauigkeit und Zuverlässigkeit.
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