Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #9374899 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ist eine Photoresist-Ausrüstung, die im Herstellungsverfahren von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es wurde entwickelt, um Partikel, organische und anorganische Filme und andere Verunreinigungen aus der Photolackschicht während der Geräteherstellung zu entfernen. TEL Clean Track verwendet ein hochintensives ionisiertes Gas, um Verunreinigungen von der Photolackoberfläche wegzufegen. Dieses Gas wird der Photolackoberfläche mittels einer Duschkopfanordnung zugeführt, die eine Gasförderdüse und einen einstellbaren Gasdruckregler aufweist. Der Druckregler ist einstellbar, um eine Reihe von Gasabgabedrücken bereitzustellen, die eine Vielzahl von Photolackschichten, Oberflächenchemien und Partikelgrößen aufnehmen können. TOKYO ELECTRON Clean Track enthält auch Hochleistungspumpen, die das ionisierte Gas kontinuierlich bei einem optimalen Reinigungsdruck von 10 bis 20 Torr umwälzen. Das System verwendet einen statischen Filter, um suspendierte Partikel aus dem Gasstrom zu entfernen, sowie einen einstellbaren Gasdruckmesser und Regler, um einen konsistenten ionisierenden Gasstrom für die Reinraumanwendungen bereitzustellen. Clean Track umfasst eine einzigartige Bildverarbeitungsmaschine, die fortschrittliche optische Technologien wie Laserbeleuchtung und CCD-Bildgebung (Charge-Coupled Device) verwendet, um die Fotolackschicht auf Kontaminanten zu überwachen. Es umfasst auch Dual-Video-Aufnahmefähigkeiten für die Beobachtung von Partikeln sowie Verunreinigungen, die mit bloßem Auge nicht sichtbar sind. Zusätzlich bietet TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track eine Overlay-Abbildungsanlage zum Vergleich von Bildern, die vor und nach der Photoresist-Anwendung für eine verbesserte Prozessüberwachung aufgenommen wurden. Insgesamt ist TEL Clean Track ein robustes, zuverlässiges Photolackwerkzeug mit effizienter Partikelentfernung, automatisierten Prozessen und reduzierten Herstellungskosten. Es wird bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen eingesetzt und ist insbesondere zur Entfernung kleiner Partikel und organischer Verunreinigungen von der Photolackoberfläche wirksam. TOKYO ELECTRON Clean Track wurde entwickelt, um die Integrität der Photolackschicht zu erhalten und die Prozessreproduzierbarkeit und hohe Ausbeute zu gewährleisten.