Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #9399665 zu verkaufen
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ID: 9399665
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1995
Wafer edge exclusion track system, 6"
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ist eine fortschrittliche Photolackausrüstung, die von Halbleiterherstellern bei der Herstellung integrierter Schaltungen verwendet wird. Photoresist ist ein lichtempfindlicher chemischer Film, der zur Bildung von Schaltungen auf verschiedenen Substraten verwendet wird. Es wird verschiedenen Schritten von Lithographie-, Ätz- und Abscheidungsprozessen unterworfen. TEL Clean Track-System hilft, die Risiken zu minimieren und die Genauigkeit dieser Prozesse zu verbessern. Die TOKYO ELECTRON Clean Track-Einheit wurde entwickelt, um eine stabile und konsistente Umgebung um den Wafer herum zu schaffen, der dem empfindlichen Photoresist-Schritt der Prozesse ausgesetzt ist. Es verfügt über mehrere Stufen, die sich auf die Vermeidung von Partikelverunreinigungen konzentrieren, die zu Defekten im Endprodukt führen können. Diese Stufen umfassen: Partikelvorprodukte, statische Kontrolle, sauberes Gas, Partikelfiltration, Umweltüberwachung und Nachreinigung. Partikel-Präparate werden verwendet, um Verunreinigungen in der Clean Track-Kammer zu identifizieren und zu entfernen. Die statische Steuerung verhindert potentielle statische Ladungen, die sich innerhalb der Kammer aufbauen können, was auch zu Partikelverunreinigungen führen kann. Das Reingas ist ein hochfiltriertes Gemisch, das das Einbringen von Neupartikeln in die Kammer verhindert. Die Partikelfiltration ist eine aktive Filtrationsmaschine, die neben den zuvor ausgeschiedenen Partikeln auch Partikel aus der Umgebung einfängt. Umweltüberwachungssysteme erkennen Partikel, bevor sie in die TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track-Kammer gelangen. Schließlich erfolgt die Nachreinigung zur weiteren Partikelelmininierung. TEL Clean Track hilft Halbleiterherstellern, hochwertige integrierte Schaltungen in einem hocheffizienten Prozess mit minimalen Defekten herzustellen. Dies wird erreicht, indem die Partikelverunreinigung aus dem gesamten Lithographieprozess eliminiert wird, so dass während jedes Schrittes eine enge Prozesskontrolle aufrechterhalten werden kann. Darüber hinaus ist der Vermögenswert in der Lage sicherzustellen, dass das Produkt jeder Stufe frei von Mängeln ist. Insgesamt fungiert das TOKYO ELECTRON Clean Track Modell als Grundlage für eine hohe Ausbeute und kostengünstige Halbleiterherstellung.
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