Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380673 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 ist eine Photolackverarbeitungsanlage zur Geräteherstellung in der Halbleiterindustrie. Das System nutzt proprietäre Dampfphasenprozesse, um Belichtungsgleichmäßigkeit, Durchsatz und Ausbeute für Photoresist-Anwendungen zu maximieren. TEL CS-600 ist eine vollständig integrierte Einheit, die eine perfekt kontrollierte Prozessumgebung für die komplexe Geräteherstellung bietet. Die Maschine ist mit einem Oberlader und einem Vakuumarm ausgestattet, der zum Entnehmen von Teilen von ihrem Träger ausgelegt ist und diese dann wie mit einem integrierten CD/DVD-Brenner programmiert verarbeitet. Dieser CD/DVD-Brenner bietet die Möglichkeit, Rohdaten zu lesen und zu speichern, bevor sie Photomasken unterzogen werden, die dann dem Resist ausgesetzt werden. Der CD/DVD-Brenner enthält außerdem ein verbessertes Datenübertragungsmittel, das eine detaillierte Prozesssteuerung ermöglicht. Die Photomaske ist ein wichtiger Bestandteil des Prozesses. Photomasken werden verwendet, um die Belichtung des Photolackmaterials zu begrenzen und zu fokussieren. Die in TOKYO ELECTRON CS-600 verwendeten Photomasken verfügen über eine Reihe von Merkmalen verschiedener Größen und Formen, die alle den Kundenspezifikationen entsprechen. Im Rahmen dieses Prozesses nutzt CS-600 eine Reihe weiterer präziser optischer Komponenten wie Lithographielinsen, eine Glasplatte, ein Maskenbelichtungsfenster und einen integrierten Maskenausrichter. Für die Mikrolithographie beinhaltet TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 die AW-N120 Software für die Bildverarbeitung. Diese Software wurde entwickelt, um das Bild durch Einstellung von Laserbelichtungsparametern zu verfeinern und so die höchste Genauigkeit zu gewährleisten. Nach dem Bildgebungsprozess ist TEL CS-600 mit einem automatischen Laser-Scan-Kalibrierwerkzeug ausgestattet, um eine gleichmäßige Belichtung zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON CS-600 ist mit drei eingebrannten Verfahren ausgestattet, die den Photolack vor Beschädigungen schützen sollen. Durch das Backen der Photolackoberfläche bei hohen Temperaturen während des Spin-Coating-Prozesses gewährleistet CS-600 höchste Qualitätsgleichmäßigkeit und maximale Klebecharakteristik für eine zuverlässige Oberflächenhaftung. Darüber hinaus ist die Anlage so konzipiert, dass sie einen Nachbackprozess beinhaltet, der den Photoresist reflektiert und das Photoresistmaterial bei der nachfolgenden Verarbeitung vor Beschädigungen schützt. Schließlich verfügt TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 über ein proprietäres Nivellierverfahren, das fortschrittliche proprietäre Algorithmen verwendet und mehrere Sensoren verwendet, um Resist in einer kontrollierten gleichmäßigen Dicke präzise auf das gesamte Substrat aufzubringen. Dies ist für die Geräteherstellung von entscheidender Bedeutung, da sie eine zuverlässige Gleichmäßigkeit und Ausbeute der Geräte gewährleistet. TEL CS-600 ist die bevorzugte Wahl für Gerätehersteller, die eine perfekt kontrollierte Prozessumgebung und eine höhere Auflösung für die komplexe Geräteherstellung benötigen. Mit seiner präzisen Leistung, kontrollierten Umgebung und automatisierten Prozessen ist TOKYO ELECTRON CS-600 perfekt für Halbleiterprofis konzipiert, die mit hochauflösenden Photomasken für die Geräteproduktion arbeiten.
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