Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380675 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Equipment ist ein monolithisches Lithographiesystem zur Belichtung von Photoresist-Material mit minimaler Musterverformung. Es bietet eine überlegene dielektrische Gleichmäßigkeit, so dass fein detaillierte Merkmale mit extremer Genauigkeit und überlegenen Erträgen gedruckt werden können, im Vergleich zu herkömmlichen Lithographie-Belichtungssystemen. Das Gerät integriert eine Vielzahl von Funktionen, einschließlich einer fortschrittlichen Hochfrequenz-Maskenhaltemaschine, Autofokus und Laserausrichtung. TEL CS-600 bietet eine Stufengenauigkeit von 10nm und ermöglicht eine hochpräzise Strukturierung von Resists in der Reihenfolge kritischer Merkmale. Um diese Genauigkeit zu erhalten, verwendet TOKYO ELECTRON CS-600 ein hochpräzises lineares Motorstufenantriebswerkzeug, das thermomechanische Variationen kompensiert, um wiederholbare Hochgenauigkeitsbelichtungen zu gewährleisten. Das Hochfrequenz-Maskenhaltemodell des Asset unterstützt dielektrische 5-500nm dicke Maskensätze, wodurch komplizierte, feine Eigenschaften des Photolackmaterials exakt belichtet werden können. Das Laserausrichtgerät CS-600 sorgt für die Ausrichtung der Photomaske relativ zum Substrat und bietet einen stabilen Strukturierungsprozess für hochauflösende Ergebnisse. Die automatische Fokussierungsfunktion des Systems gewährleistet die Genauigkeit der Nanoskala während des gesamten Belichtungsprozesses. Mit Hilfe einer patentierten hochauflösenden Laserdiode kann TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 den kritischen Rand des Photolackmusters messen und seinen Fokus automatisch anpassen. Dies führt zu gleichbleibend genauen Mustern, auch wenn sich die Topographie oder Rauheit des Substrats ändert. TEL CS-600 bietet auch eine Vielzahl von High-End-Funktionen, wie ultrahochauflösende Bildgebung bei 5nm sowohl in der Wellenlänge als auch in der numerischen Apertur. Dies führt zu einer hohen Durchsatzleistung und einer extrem geringen Fehlerrate. TOKYO ELECTRON CS-600 ist eine präzise, einfach zu bedienende, zuverlässige Photolackeinheit, die auf die Herausforderungen der sich ständig entwickelnden Mikroelektronik-Industrie ausgerichtet ist. Es hat die Fähigkeit, Kantenauflösung bis zu 5nm mit hoher Genauigkeit wiederholte Belichtungen zu erreichen, so dass hochauflösende Muster mit überlegenen Ausbeuten gedruckt werden können. Damit ist sie eine ideale Lösung für fortgeschrittene und volumenstarke Mikroelektronik-Anwendungen.