Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380677 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 ist eine umfassende Photoresist-Ausrüstung für Photolithographieverfahren. Das System kombiniert fortschrittliche Resist-Technologie mit einer vollautomatischen Substrat-Handhabungseinheit, um eine komplette Resist-Lösung bereitzustellen. TEL CS-600 umfasst ein Resistmodul, ein Vision-Modul und ein Substratausrichtungsmodul und ist damit eine ideale Lösung für eine Vielzahl von Anwendungen. Das Resistmodul ist für verschiedene Arten von Resistmaterialien ausgelegt. Es ist mit einer Resistdüse, einer Antireflexionsdüse (ARC) und einem Sprühtrockner ausgestattet. Die Düse ist in der Lage, das Aufbringen des Resistmaterials genau zu kontrollieren und eine gleichmäßige Abscheidung mit hoher Genauigkeit zu gewährleisten. Zusätzlich ist die Düse mit einem Lecksucher ausgestattet, der Leckagen und Verschmutzungen kritischer Substratoberflächen verhindert. Die Einstellbarkeit der Resistdüse ermöglicht die Abscheidung sowohl positiver als auch negativer Resistformulierungen auf verschiedenen Substraten. Das Vision-Modul ist darauf ausgelegt, Substratkoordinaten genau zu erkennen und deren Bewegung auf der Substratstufe zu verfolgen. Das Vision-Modul verfügt über eine hochauflösende Kamera, die eine präzise Erkennung der Substratmerkmale ermöglicht. Dies ermöglicht eine genaue Orientierung des Substrats in Bezug auf die Resistdüse und die ARC-Düse während des Auftragsprozesses. Darüber hinaus ist das Vision-Modul in der Lage, Substratfehler automatisch zu erkennen und Rückmeldung an das Resist-Modul zu geben, um sicherzustellen, dass nur Substrate mit akzeptabler Integrität verwendet werden. Das Substratausrichtungsmodul sorgt dafür, dass jedes Mal, wenn ein Substrat auf der Substratstufe platziert wird, ein konsistentes Substrat platziert wird. Es verwendet eine Kombination aus Sensoren und Software, um jedes Substrat in einem Bereich von ± 0,1 mm genau zu positionieren. Dadurch wird sichergestellt, dass das Aufbringen des Resistmaterials genau erfolgt. Darüber hinaus ermöglicht dieses Modul aufgrund seiner automatisierten Beschaffenheit den komfortablen Aufbau einer großen Anzahl von Substraten in einer einzigen Charge. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON CS-600 eine hervorragende Photoresist-Maschine, die überlegene Gleichmäßigkeit und Produktivität bietet. Seine vielseitigen Resist-Anwendungsmöglichkeiten ermöglichen eine flexible Herstellung einer Vielzahl von Substraten und sind somit eine ideale Lösung für photolithographische Prozesse. Darüber hinaus stellen die erweiterten Bildgebungs- und Ausrichtungsfunktionen sicher, dass die Substrate genau für den Resist-Applikationsprozess positioniert werden, was zu einer überlegenen Reproduzierbarkeit führt.