Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380679 zu verkaufen

ID: 9380679
Weinlese: 2002
Plasma cleaner 2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 ist ein Photoresist-Gerät zum präzisen Auftragen eines Photoresist-Materials auf einen Wafer oder Substrat. Das Photolackmaterial ist lichtempfindlich und kann verwendet werden, um Muster auf dem Substrat für verschiedene Anwendungen zu erzeugen. Das Photolacksystem besteht aus einer Düseneinheit und einem Scannerkopf. Die Düsenmaschine, auch Spin-Coat-Einheit genannt, enthält einen programmierbaren Motor zur Steuerung der Spinrate, der Düsentemperatur und des spezifischen Widerstandes zum präzisen Aufbringen des Photolackmaterials auf das Substrat. Der Scannerkopf ist ein optischer Sensor zur genauen Positionierung des Wafers in der Beschichtungsvorrichtung. Es verwendet telezentrische Linsen, die bildgebende Verzerrungen reduzieren und eine einwandfreie Bildgebung ermöglichen. Darüber hinaus ist das TEL CS-600 Photoresist-Tool mit einer erweiterten Steuereinheit für die Asset-Steuerung und -Handhabung ausgestattet. Es ermöglicht Benutzern, die gewünschte Geschwindigkeit, Temperatur, Widerstand und Druck entsprechend den Bedürfnissen des Prozesses einzustellen. Das Gerät bietet ferner eine Spektrumanalysefunktion, die zur Analyse des Photolackmaterials auf eine ordnungsgemäße Materialabscheidung dient. TOKYO ELECTRON CS-600 ist auch mit einem Advanced Programmable Logical Controller (APLC) ausgestattet, der zur Ausführung der Aufgaben verwendet wird. Dieses ausgeklügelte Gerät kann eine Vielzahl komplexer Aufgaben für mehrere Prozessschritte ausführen und dabei eine hohe Genauigkeit beibehalten. Zusammenfassend ist CS-600 Photolackmodell eine effiziente und zuverlässige Lösung für die Photolithographie. Es ist mit den neuesten technologischen Fortschritten ausgestattet, um eine präzise, wiederholbare und zuverlässige Photolackabscheidung auf Substraten durchzuführen. Seine enge Kontrolle auf Parameter wie Spin-Rate, Temperatur und Widerstand sorgen dafür, dass Substrate mit der genauen Menge an Photolack-Material und Gleichmäßigkeit beschichtet werden.
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