Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380680 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 ('TEL CS-600') ist eine automatisierte Photolackanlage, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Das System kann entweder mit einer einzigen Waferkassette oder einem Dual-Wafer-Kassettenlader konfiguriert werden und ist bis zu 200mm Wafer handhabbar. Das Gerät verfügt über eine optimierte Kassette für die Handhabung von Kassettenscheiben, wodurch das manuelle Entladen von Wafern entfällt. TOKYO ELECTRON CS-600 verwendet eine fortschrittliche Computermaschine zur Steuerung der Operationen und eine intuitive Benutzeroberfläche zur Vereinfachung der Operationen. Das Tool ermöglicht zwei Betriebsmodi - lokal und remote. Im lokalen Modus kann das Asset über das externe Bedienfeld bedient werden. Im Fernmodus kann das Modell von einem Computer im lokalen Netzwerk aus betrieben werden. CS-600 hat eine breite Palette von Reinigungsverfahren für Pre-Backen und Post-Exposure Backen Sequenzen. Zu den Reinigungsprozessen gehören Spülen und Schleudern, Sprühen und Schleudern, Düsen und Schleudern, Luftblasen und Schleudern. Darüber hinaus gibt es manuelle und automatische Reinigungsprozesse für spezielle Reinigungsbedürfnisse. TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 verwendet einen fortschrittlichen Scanner und Bewegungssteuerung Ausrüstung, um die Muster Platzierungen und Überlagerungen von Photoresist-Funktionen auf Wafern zu überprüfen und zu optimieren. Es verfügt über einen vollautomatisierten softwaregesteuerten optischen Aligner mit einstellbarer Spotgröße und Fokustiefe. TEL CS-600 verfügt außerdem über ein fortschrittliches Lade-/Entladesystem, um die Durchlaufzeit zu reduzieren und eine schnellere Handhabung von Photolackmaterialien zu ermöglichen. Eine integrierte Werkbank reduziert die Be- und Entladezeit, während eine vollautomatische Reinigungseinheit die Übertragung von photolithographischen Materialien verbessert. TOKYO ELECTRON CS-600 verfügt zudem über eine programmierbare Formateinstellung, die Flexibilität bei der Handhabung verschiedener Wafertypen ermöglicht. Die Maschine ist mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ausgestattet, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Zu den Sicherheitsmerkmalen gehören ein Auto-Stop, wenn sich der Bediener vom Werkzeug entfernt, sowie ein Auto-Entsperren, wenn die Maschine länger als eine gewisse Zeit unbenutzt war. CS-600 beinhaltet auch eine Nothaltetaste, die für den Bediener leicht zugänglich ist. Abschließend ist TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 ein fortschrittliches, automatisiertes Photoresist-Asset, das einen höheren Durchsatz und eine verbesserte Genauigkeit für Fertigungsprozesse bietet. Seine fortschrittlichen optischen Ausricht- und Lade-/Entladesysteme bieten eine hocheffiziente und qualitativ hochwertige Leistung, während seine intuitive Benutzeroberfläche und Sicherheitsfunktionen die Bedienung vereinfachen und eine sichere Bedienung gewährleisten.