Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380682 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Equipment ist ein vielseitiges und zuverlässiges Werkzeug zum Strukturieren und Ätzen von Substraten in der Halbleiterherstellung. Dieses System verwendet eine plasmaverbesserte PECVD-Technik (Chemical Vapor Deposition), um eine Schicht aus Photoresist auf dem Substrat abzuscheiden. TEL CS-600 besteht aus zwei Hauptteilen, der Prozesskammer und der Quellkammer. Die Prozesskammer ist eine dicht verschlossene Kammer, in der eine Vakuumpumpe untergebracht ist. Die Quellkammer enthält die für den Prozess erforderlichen Komponenten. Das Substrat kann auf die Prozesskammer geladen werden und nach dem Abdichten beginnt die Pumpe mit der Evakuierung der Kammer. Unter Vakuum werden die Komponenten in der Quellkammer auf die gewünschte Temperatur erwärmt. Dann können verschiedene Arten von Gasen in die Kammer eingeleitet werden, um den Abscheidungs- und Ätzvorgang zu beginnen. TOKYO ELECTRON CS-600 kann verwendet werden, um eine Vielzahl von Substraten zu strukturieren und zu ätzen, einschließlich Substraten aus Polysilizium, dotierten Oxiden, Nitriden, SiGe/SiGe und mehr. Zum Ätzen werden Gase auf Chlor- und Fluorbasis verwendet. Was die Photoresistschicht betrifft, so verwendet CS-600 ein Polymerisationsverfahren mit einem Monomer und Initiatorgas, um den Photoresist zu erzeugen. Das Polymerisationsverfahren ermöglicht dem Werkzeug eine beispiellose Leistung für Photoresist-Verarbeitungsanwendungen. Darüber hinaus verfügt TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 über mehrere Sicherheitsmerkmale. Das Gerät ist mit einem internen Sicherheitsventil, einer Spülmaschine und einem Auspuffwerkzeug ausgestattet. Diese Sicherheitsmerkmale können dazu beitragen, dass während der Verarbeitung keine gefährlichen Stoffe in die Umwelt freigesetzt werden. TEL CS-600 ist ein effizientes und zuverlässiges Werkzeug für Photolackverarbeitungsanwendungen und wurde entwickelt, um überlegene Leistung und Benutzerfreundlichkeit in der Halbleiterindustrie zu bieten. Mit seinen vielseitigen Möglichkeiten ist TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Asset eine beliebte Wahl unter den Halbleiterherstellern.