Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380686 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 ist ein Photoresist-Gerät, mit dem Benutzer Metallschichten direkt mit Photolithographie mustern können. Es ist weit verbreitet in fortschrittlichen Halbleiterherstellungsprozessen, wie der Montage von winzigen Erntegutsensoren und -strukturen, elektromechanischen Mikrosystemen (MEMS), Leiterbahnen und optoelektronischen Bauelementen. Das System bietet genaue Belichtungssteuerung, Funktionsgrößensteuerung und robuste Metallmusterung, alles in einem einzigen Prozess. TEL CS-600 verwendet einen proprietären Photoresist namens electron-chemical assisted thermal resist (ECAT) resist. Dieser Resist ist so konzipiert, dass er mit verschiedenen Metallen und Substratoberflächen kompatibel ist. Es ist sowohl für sichtbares Licht als auch für Elektronenstrahlen sehr lichtempfindlich, sodass Benutzer die Auflösung von Mustern und Merkmalen steuern können. Darüber hinaus ist TOKYO ELECTRON CS-600 mit einer mechanischen Stufe ausgestattet, die das resistbeschichtete Substrat bezüglich der Belichtungslichtquelle genau orientiert. CS-600 verfügt über eine große Auswahl an Lithographiewerkzeugen, darunter einen hochauflösenden Bildprojektor, Halogen/Quecksilber-Lichtbogenquellen und eine Laserbelichtungsquelle. Diese Werkzeuge sind so konzipiert, dass sie extrem niedrige Linien/Raummuster mit einer Auflösung von bis zu 0,8 Mikrometern (μ m) erreichen. Das Gerät verfügt außerdem über eine hochauflösende Scan-Zelle, die eine gleichzeitige Belichtung in mehreren Winkeln ermöglicht. Um höchste Genauigkeit zu gewährleisten, ist TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 mit einer Hochleistungs-Rückkopplungsmaschine ausgestattet. Dieses Werkzeug überwacht kontinuierlich die Abstände des resistbeschichteten Substrats zur Belichtungsquelle und nimmt Anpassungen vor, um sicherzustellen, dass Musterausrichtungen innerhalb der Toleranz liegen. Die Scan-Zelle ist auch zeitgesteuert, um Schäden am Resist durch längere Exposition zu reduzieren. TEL CS-600 ist auch mit einer anspruchsvollen Reinigung, Beschichtung und Trocknung ausgestattet. Dieses sequenzierte Modell verhindert Verschmutzungen während des Prozesseinlaufs und sorgt dafür, dass die Resistgleichförmigkeit und optisch klares Endergebnis entsteht. TOKYO ELECTRON CS-600 enthält auch eine Reinigungsstation nach der Entwicklung, die Anwender bei der Entfernung von Photolack aus dem Substrat unterstützt, nachdem es belichtet und entwickelt wird. Insgesamt ist CS-600 eine leistungsfähige und zuverlässige Photolackausrüstung für die direkte Strukturierung von Metallschichten. Seine Vielseitigkeit und Robustheit machen es für eine breite Palette von photolithographischen Anwendungen geeignet.