Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380688 zu verkaufen

ID: 9380688
Weinlese: 1999
Plasma cleaner 1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um fortschrittliche Substrate in der Halbleitermassenproduktion zu beschichten und zu entwickeln. Dieses System nutzt die neuesten Technologien, um qualitativ hochwertige, hocheffiziente Ergebnisse zu produzieren, die den Industriestandards entsprechen. TEL CS-600 ist für eine optimale Substratausnutzung konzipiert und bietet Platz für bis zu 8x25 Zoll Substrate mit einer schnellen Wafer-Handhabungseinheit. Es verfügt über automatisierte Kassettenfunktionalität durch den Einsatz von Robotern, sowie eine eingebaute Tracking-Maschine, die Waferdurchsatz, Tracking-Wafertransport und Waferbeschichtung und Entwicklungsstufen überwacht. Das Werkzeug ermöglicht eine schnelle Beschichtung von Photoresists und vereinfacht den Rezeptablauf, wodurch es für eine breite Palette von Waschmittellösungen geeignet ist. Darüber hinaus ist die Anlage mit vielen spin- und spritzverarbeiteten Chemikalien kompatibel. Das hochpräzise TOKYO ELECTRON CS-600 verfügt über ein Selbstdiagnosemodell, das eine kontinuierliche Überwachung der Geräteleistung durchführt und bei Bedarf sofort Korrekturmaßnahmen ergreifen kann. Das System bietet auch eine umfassende Messtechnik, die mehrere Parameter wie gemäßigt, Luftgeschwindigkeit, Luftfeuchtigkeit, Kraft, Konzentration, Verschiebung und Beschleunigung meldet. Die Maschine enthält fortschrittliche aktive Werkzeuge zur Prozesssteuerung. Es kann Gasdruck, Temperatur, Konzentration und Lösungsmittelflussrate erfassen und anpassen, um die höchste Genauigkeit zu erhalten. Die fortgeschrittenen Evaluierungstools des Tools tragen zur Sicherstellung der Produktqualität bei und kombinieren automatisierte Inspektionen mit visuellen Inspektionen der Bediener. CS-600 können vollständig in die Produktionslinie des Bedieners integriert werden und bieten eine gleichzeitige Steuerung zahlreicher Module wie Wafertransfer, chemische Mischung und Substrattransfer. TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Asset wurde entwickelt, um hohe Leistungs- und Produktivitätsanforderungen zu erfüllen. Durch die Bereitstellung der schnellsten Geschwindigkeiten und höchsten Durchsätze in seiner Klasse kann TEL CS-600 die Produktionseffizienz maximieren. Dieses Modell ist eine ideale Wahl für Halbleiterlieferanten, die effizientere und zuverlässigere Prozessabläufe anstreben.
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