Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9399468 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die eine umfassende und fortschrittliche Lösungen für die präzise Musterung bietet. Dieses System wurde entwickelt, um einen vollautomatischen Prozessablauf mit höchster Leistung, Sicherheit und Zuverlässigkeit zu bieten. Das Gerät ist eine Kombination aus fortschrittlichen Lithographiewerkzeugen und Prozessen, die eine präzise Strukturierung mit der höchsten Ausbeute ermöglicht. TEL CS-600 umfasst eine Fotoausrichtmaschine, einen Scanner, ein Nadelstangenbelichtungswerkzeug, zwei Kammern und zwei Backstationen. Die Photoausrichtung ermöglicht eine präzise Ausrichtung von Photomasken und Substraten. Dies ermöglicht die effizienteste Strukturierung und sorgt für den höchsten Ertrag. Der Scanner verwendet Hochleistungsoptiken zum Erfassen und Fokussieren, dann projizieren und wiederholen Sie das Muster auf den Wafer. Das Nadelstangenbelichtungsmodell besteht aus zwei Belichtungsköpfen, einem Abgabekopf und einer Reihe kleiner Nadeln, die zum Zeichnen von Mustern auf dem Fotolack verwendet werden. Die beiden Kammern arbeiten in einer Reihe zusammen, um den Photolack aufzubringen, dann das Resistmaterial zu entwickeln und zu entfernen. Die erste Kammer hält die Dispersionsbehälter, wo der Photoresist gemischt und auf das Substrat abgegeben wird. Die Kammer enthält auch einen Verschluss, der es ermöglicht, den Resist dem Muster auszusetzen und sich zu entwickeln. Nach der Belichtung werden die Wafer dann in die zweite Kammer überführt, die mit einem aerodynamischen Trockner, einer Abwasserverunreinigungseinrichtung und einer chemischen Entnahmekammer ausgestattet ist. Die Backstation ist zudem hochautomatisiert und in das TOKYO ELECTRON CS-600 System integriert. Beim Backen wird eine temperaturgeregelte Umgebung beibehalten, um die gleichmäßige Aushärtung und Stabilität des Photolacks zu gewährleisten. Die Backstation kann auch bei anderen Verfahren wie Ätzen, Ätzen und Spalten eingesetzt werden. CS-600 ist für Rapid Prototyping und fortschrittliche Mikroherstellungsprozesse konzipiert. Es ist besonders effektiv für 3D-Druckverfahren, wenn es in Verbindung mit anderen Maschinen verwendet wird. Die Kombination der fortschrittlichen Lithographieverfahren und des automatisierten Verfahrens von TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 bietet eine effizientere, zuverlässigere und leistungsfähigere Möglichkeit, technisch komplexe Produkte herzustellen.