Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9399469 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die eine leistungsstarke und präzise Steuerung des mikroelektronischen Lithographieverfahrens ermöglicht. Merkmale des Systems ermöglichen eine schnelle Verarbeitung von Lithographieschichten mit Funktionen zur Auflösung von Submikronen. Diese Einheit arbeitet mit einem pneumatischen Vakuumfutter, um die Gleichmäßigkeit der Resistbeschichtung zu verbessern. Die Plattform selbst ist um eine Regelung herum ausgelegt, um eine gleichmäßige Dicke der Resistschicht zu gewährleisten. Die Maschine wird auch die Höhe der belichteten Bereiche während des Resistabscheidungsprozesses überwachen, was zu einem besseren Qualitätsprozess führt. Die Belichtungslänge wird auch automatisch vom Werkzeug in Abhängigkeit vom Fehlerverlauf der Zielschaltungen eingestellt. Dieses Asset verwendet ein optisches Projektionsmodell mit hochauflösender Anzeige und automatisierten Filmüberschneidungen. Darüber hinaus ist die TEL CS-600-Plattform leicht aufrüstbar, sodass Benutzer die Funktionen ihrer Geräte an ihre Lithographie-Anforderungen anpassen können. Das System enthält auch einen Entwicklermechanismus, um die Formel und Öffnungstiefe des verwendeten Resistes genau zu steuern. Dies geschieht mit mehreren proprietären Algorithmen, die auch zur Aufrechterhaltung der Gleichmäßigkeitsleistung verwendet werden. Um die Gleichmäßigkeit weiter zu erhöhen, ist eine Cleaner & Tracking Unit in diese Plattform integriert, um die Leistung der Lithographie zu überwachen und zu regeln. Die On-Board-Diagnose hilft dabei, Probleme während des Prozesses zu identifizieren und zu beheben, um sicherzustellen, dass die Ergebnisse den vom Benutzer festgelegten genauen Spezifikationen entsprechen. Schließlich ist TOKYO ELECTRON CS-600 mit vielen Sicherheitsfunktionen konzipiert, die es dem Benutzer ermöglichen, die Maschine für maximale Sicherheit gegen versehentliche Aktivierung oder unsachgemäße Belichtung vorzuprogrammieren. Darüber hinaus ist die Plattform selbstüberwacht, um sicherzustellen, dass alle Komponenten des Werkzeugs ordnungsgemäß funktionieren. CS-600 Photoresist bietet eine leistungsstarke, präzise Steuerung des mikroelektronischen Lithographie-Prozesses, der eine schnelle Verarbeitung von Lithographie-Schichten mit Submikron-Auflösungsfunktionen ermöglicht. Dieses zuverlässige, agile Modell ist vollständig aufrüstbar und verfügt über Diagnose-, Tracking- und Sicherheitsfunktionen, um ein qualitativ hochwertiges Lithographieergebnis zu gewährleisten.
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