Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269591 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON CS450 Photoresist Equipment ist ein leistungsstarkes, benutzerfreundliches Resistverarbeitungssystem für fortschrittliche Lithographieverfahren. Für Konsistenz und Genauigkeit konzipiert, ist TEL CS450 in der Lage, komplexe Musteranforderungen für Halbleitertechnologien der nächsten Generation zu bearbeiten. Dieses Gerät unterstützt Anwendungen wie Deep UV (DUV) und Extreme Ultraviolett (EUV) Lithographie mit Einzel- und Doppelbelichtungsschritten. TOKYO ELECTRON CS 450 wurde entwickelt, um mit chemisch verstärkten, negativen Ton-Photoresists zu arbeiten. Die fortschrittliche Spin-Technologie dieser Maschine optimiert die Prozessvariabilität und ermöglicht eine hervorragende Gleichmäßigkeit und Produktivität, auch bei kleineren Musterdesigns. TEL/TOKYO ELECTRON CS 450 verfügt über integrierte Machine Vision, die eine automatisierte Inspektion und Identifizierung von Fehlern ermöglicht. TEL CS 450 ist mit programmierbaren Prozessparametereinstellungen ausgestattet. Dies ermöglicht genaue, wiederholbare Ergebnisse. Das Werkzeug kann manuell oder im Automatikbetrieb bedient werden. Der Automatikmodus kann für eine schnelle, reproduzierbare Resistverarbeitung auch auf komplexen Resiststrukturen eingesetzt werden. Die Anlage bietet auch eine hervorragende Temperaturregelung. Die Prozesstemperaturen können genau von 5 bis 80 ° C gesteuert werden, während die Substrattemperatur zwischen 5 und 60 ° C gehalten werden kann. Optional steht auch eine schnelle thermische Zonierung zur Verfügung, die den Zeitaufwand für die Bearbeitung kleingeometrischer Wafer erheblich reduzieren kann. Das Modell verfügt über eine interaktive grafische Benutzeroberfläche, die eine einfache und intuitive Bedienung ermöglicht. Darüber hinaus steht ein Rezepteditor zur Verfügung, mit dem Benutzer individuelle Rezepte erstellen und in der Datenbank TOKYO ELECTRON CS450 speichern können. Die Eingabeaufforderungen sind intuitiv, was die Bedienung einfacher und benutzerfreundlicher macht. Zur Ausstattung gehört auch ein integriertes Hochleistungs-Resist-Tracking-System, das eine Echtzeit-Überwachung der Prozessergebnisse ermöglicht. Auf diese Weise kann der Bediener alle Änderungen korrigieren, die während der verschiedenen Stufen des Resistverarbeitungsprozesses auftreten können. Insgesamt ist CS450 Photoresist Unit eine leistungsstarke, benutzerfreundliche Resistverarbeitungsmaschine für fortschrittliche Lithographieverfahren. Die fortschrittliche Spin-Technologie, die Temperaturkontrolleinstellungen, die benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche und das Echtzeit-Widerstandsverfolgungstool bieten außergewöhnliche Einheitlichkeit und Prozessstabilität. Dieses Asset ist in der Lage, die anspruchsvollsten Prozessanforderungen zu erfüllen und bietet Anwendern beispiellose Genauigkeit und Wiederholbarkeit.