Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269597 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON CS450 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die den Prozess der Erstellung von Mikrostrukturen auf Halbleiterwafern automatisiert. Das System besteht aus einer speziellen Belichtungslampe, einer rotierenden Waferstufe, einer Gasspüleinheit und einer Vakuummaschine zur schnellen und präzisen Bearbeitung von Wafern. Die Belichtungslampe, eine Metallhalogenidlampe, emittiert kurzwellige ultraviolette Strahlen mit einer Wellenlänge von 351 nm zur genauen Abbildung von Mikrostrukturen. Die Wellenlänge und Bestrahlung der Lampe kann für bestimmte Belichtungspegel eingestellt werden, was eine genaue und konsistente Bildgebung ermöglicht. Die rotierende Waferstufe ist ein motorisch angetriebener Drehteller, der den Wafer bei 1800 U/min dreht und die Belichtungszeit in benutzerdefinierten Schritten einstellt. Die Stufe verfügt über einen schwingungsdämpfenden Mechanismus, der einen reibungslosen Betrieb und eine präzise Positioniergenauigkeit gewährleistet. Dies ermöglicht eine präzise Anordnung von Mikrostrukturen auf dem Wafer. Mit dem Gasspülwerkzeug werden die für die Photoresistverarbeitung erforderlichen hohen Vakuumwerte erreicht. Eine spezielle Hochleistungs-Turbo-Molekularpumpe sorgt für das notwendige Vakuum und Waschen der Prozesskammer. Dadurch wird sichergestellt, daß bei der Verarbeitung keine Verunreinigungen in die Kammer eingeleitet werden. Die Vakuumanlage besteht aus einem geschlossenen Modell mit mehreren Sensoren, die den Druck, die Temperatur und den Partialdruck jeder Prozesskammer überwachen. Das Gerät ermöglicht eine präzise Steuerung des Vakuums und ermöglicht so den genauen Betrieb des Photolacksystems. Insgesamt ist TEL CS450 ein zuverlässiges Werkzeug für die Photolithographie-Verarbeitung. Die Kombination aus fortschrittlicher Belichtungslampentechnologie, ausgeklügelter Wafer-Stufensteuerung und präziser Vakuumgeräteregulierung ermöglicht die genaue Herstellung von Mikrostrukturen auf Halbleitersubstraten.