Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269603 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON CS450 ist eine Photoresist-Ausrüstung für eine Vielzahl von Lithographieanwendungen. Das System ist mit einem progressiven Scanmotor, einem optimierten Scanner und einem Resistprozessor ausgestattet, was es zu einem sehr vielseitigen Gerät macht. Es ist in der Lage, sowohl positive als auch negative Resiststoffe auf einer Vielzahl von Substraten mit einer Maskengröße von bis zu 80 × 80 mm zu verwenden. Der progressive Scan-Motor von TEL CS450 soll die Zeit minimieren, die benötigt wird, um ein Muster mit darüberliegenden Photolackschichten zu bilden. Dieser Motor bietet wiederholbare und zuverlässige Prozesse mit minimalem Bedieneingriff. Seine Ausrichtungsgenauigkeit von ± 2 μ m und die Wiederholbarkeit von ± 0,3 μ m verringert wesentlich die Zeit, die es braucht, um Substrate zu mustern und Qualitätsergebnisse zu erzielen. Der Scanner von TOKYO ELECTRON CS 450 ist ein großflächiges Pipeline-Transfergerät. Dieses Gerät ermöglicht es Benutzern, eine dynamische Kontrolle über die optische Bestrahlung zu erreichen, die auf die Resistschicht trifft. Darüber hinaus umfasst diese Einheit einen ISO-zertifizierten Resist-Dispense und Resist-Slice-Prozessor, der eine zuverlässige und konsistente Resist-Zusammensetzung bietet und gleichzeitig eine saubere und konsistente Schicht auf der Maske oder dem Substrat gewährleistet. Die Maschine bietet darüber hinaus sowohl hohe als auch niedrigere Auflösungen in Verbindung mit einem Betrieb bei mehreren Wellenlängenbelichtungsbedingungen. TOKYO ELECTRON CS450 kommt auch mit einer fortschrittlichen Technik zur automatischen Positionierung von Zwischenmasken während der Belichtung des Lithographiewerkzeugs. Diese Funktion macht es einfach, optische Optionen anzupassen und feinabzustimmen, wodurch eine genaue Auflösung und eine gleichmäßige Strukturierung über Substrate gewährleistet ist. CS 450 ist ideal für kleinere Labore, da es durch sein programmierbares, benutzerfreundliches Touchscreen-Bedienfeld einfach einzurichten und zu bedienen ist. Darüber hinaus hat diese Anlage niedrige Betriebskosten und ist in der Lage, bis zu sechs Substrate parallel zu betreiben und so den Durchsatz zu verbessern. Als solches ist es eine ausgezeichnete Wahl für diejenigen, die ein kostengünstiges, aber zuverlässiges Fotolackmodell für ihre Lithographieprojekte suchen.
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