Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269606 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON CS450 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die zum hochpräzisen Ätzen und Strukturieren von Substraten wie Silizium-Wafern und anderen dünnen Filmen entwickelt wurde. Es ist ein fortschrittliches System, das auf dem neuesten Stand der Technik und Design-Prinzipien basiert. TEL CS450 verfügt über die Diamond-Like Carbon Source Unit (DLCS), eine hochmoderne Quelle lichtempfindlicher Chemikalien, die in Photoresistprozessen eingesetzt werden. DLCS ist eine laserinduzierte Quelle mit hoher Intensität für die Elektronenstrahlverdampfung, die in der Lage ist, exakt kontrollierte Dosen von Chemikalien auf einer Mikron-Skala zu produzieren. Das DLCS verfügt auch über erweiterte optische Funktionen wie Strahlkollimation, Energiestabilisierung und Lichtabsorption. Das Gerät verfügt auch über die Substratbehandlungsmaschine (STS), ein fortschrittliches Werkzeug zur Reinigung, Aufbereitung und Trocknung von Substraten, nachdem sie dem DLCS ausgesetzt wurden. TOKYO ELECTRON CS 450 wurde entwickelt, um mit verschiedenen Arten von Substraten zu arbeiten, einschließlich Silizium, Quarz und Saphir. Das Asset ist in der Lage, die Ätztiefen und die Strukturierung von Linien, Punkten und anderen Formen präzise zu steuern, mit Ätztiefen von bis zu 50 Mikrometern und Linienbreiten von bis zu 300 nm. Verschiedene Funktionen, wie Kantenrundung, Laserscribing, Linienformung und Ladungsakkumulation, können im Modell automatisiert werden und bieten eine höhere Präzision als von Hand möglich. Die Ausrüstung ist auch für biologische Sicherheit und Effizienz im Betrieb ausgelegt. Es kommt mit einem integrierten Controller, so dass der Benutzer Prozesszyklen und Parameter aus der Ferne steuern. Dies bedeutet, dass der Anwender das Risiko einer Kontamination und Beschädigung des Substrats reduzieren und sicherstellen kann, dass der Ätz- und Musterprozess mit Präzision und Qualität durchgeführt wird. Die Steuerung weist auch Sicherheitsmerkmale auf, wie Wärmeschutz, der eine Überhitzung des Systems während des Betriebs verhindert, und Schwingungsüberwachung, die abrupte Veränderungen der Substratoberfläche während der Bearbeitung verhindert. CS 450 bietet eine umfassende Palette von Ätz- und Musterfunktionen, einschließlich der Einstellung von Ätztiefe und Linienbreite, hochpräziser Linienformung, Kantenrundung, Laserscribing und Ladungsakkumulation. Darüber hinaus ist das Gerät in der Lage, eine ganze Reihe von Photolackstrukturen zu erzeugen, einschließlich mikroelektromechanische Systeme (MEMS), organische Leuchtdioden (OLEDs), Leiterplatten (PCBs) und Hochfrequenzgeräte (RF). Es ist ideal für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich der Herstellung von Halbleitern, Displays und Sensoren.