Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269608 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON CS450
ID: 9269608
System CANON MPA 3000 (6) MGV KLA.
TEL/TOKYO ELECTRON CS450 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die von TEL (TOKYO ELECTRON) speziell für die Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Das System wird hauptsächlich zur Abscheidung von lichtempfindlichen Chemikalien, meistens Photoresist, auf die Oberfläche von Halbleitersubstraten verwendet, um die strukturierten Schichten in der Geräteherstellung zu erzeugen. Das Gerät ist ein vollautomatisches, flexibles Werkzeug, mit dem Anwender schnell auf Kundenanforderungen und Prozesstechnologieänderungen reagieren können, die während des Produktionszyklus von Halbleiterbauelementen auftreten. TEL CS450 Maschine verwendet mehrere Schlüsselkomponenten, darunter die Photoresist-Bearbeitungskammer (PPC), ein Flüssigkeitslieferwerkzeug und einen Software-Controller. Das PPC enthält die Abscheideeinheit, die eine direkte Abscheide- und Nachfüllanlage mit zwei Tanks ist, die für den Lösungstransfer angeschlossen sind. Das Design des PPC ermöglicht eine präzise Regelung der Temperatur, Beleuchtung und Lösungszusammensetzung, um einheitliche und hochauflösende Muster zu gewährleisten. Das Flüssigkeitsabgabemodell dient dazu, den Photolack aus den Vorratsbehältern in die Abscheidekammer zu transportieren. Der Software-Controller ist eine grafische Benutzeroberfläche, die eine Fernüberwachung und Steuerung der Geräte ermöglicht. Es enthält auch eine Echtzeit-Anzeige der Abscheidungsparameter, so dass Benutzer die Einstellungen während des Photoresist-Beschichtungsprozesses nach Bedarf anpassen können. Neben der Beschichtung von Photoresist, TOKYO ELECTRON CS 450 System ist in der Lage, andere Verarbeitungsaufgaben wie Photolackstreifen, Pre-bake, und Entwicklung. Es verfügt über eine präzise Dosiereinheit, die eine Vielzahl von flüssigen Chemikalien leicht aufnehmen und gleichzeitig Abfälle minimieren kann. Die Maschine verwendet auch fortschrittliche Reinigungstechniken, die dazu beitragen, einen niedrigen Verschmutzungsgrad in der Abscheidekammer zu halten. CS 450 Werkzeug kann in eine größere Prozesslinie integriert werden, was einen verbesserten Durchsatz und Produktivität ermöglicht. Die Anlage ist gemäß den Sicherheitsvorschriften konzipiert und verfügt über ein IPX-7 Gehäuse aus Edelstahl. Dadurch wird ein hoher Schutz vor Umweltfaktoren gewährleistet. Das Modell TEL CS 450 ist ideal für Operationen, die schnelle Bearbeitungszeiten und eine präzise Steuerung erfordern, um optimale Mikroherstellungsergebnisse zu erzielen. Die hochpräzise Abscheidung und die ausgeklügelte Softwaresteuerung machen es zu einem der modernsten Photoresist-Systeme, die derzeit verfügbar sind.
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