Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269614 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON CS450
ID: 9269614
Coater system, parts machine.
TEL/TOKYO ELECTRON CS450 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die entworfen wurde, um überlegene Resistmusterqualität mit ausgezeichneter Motorleistung zu liefern, die Verfahren wie Photolithographie, anisotropes und isotropes Ätzen und mehr ermöglicht. TEL CS450 nutzt eine halbautomatische Plattform mit einer Inline-Vollbackkammer, die einen Produktionsdurchsatz von bis zu 15 Wafern pro Beladung ermöglicht. Es hat auch ein vollständiges Spektrum von digitalen Bildverarbeitungsfunktionen, so dass es in photolithographischen Programmen verwendet werden kann. Zusätzlich wird TOKYO ELECTRON CS 450 mit einem vierstufigen Antriebsmotor geliefert, um eine präzise Kontrolle der Resisteinspritzung sowie der Substratposition und -ausrichtung zu gewährleisten. TEL/TOKYO ELECTRON CS 450 verfügt zudem über ein fortschrittliches Prozesssystem, das es dem Anwender ermöglicht, verschiedene Photolithographieschritte einfach durchzuführen. Es ist auch mit einer vierachsigen Fahr- und Transportsteuerung ausgestattet, die hochpräzise X-, Y-, Z- und Rotationsbewegungen durchführen kann. TEL CS 450 verfügt über eine hochpräzise Spin-Coat-Maschine, die eine gleichmäßige Oberflächenbeschichtung auf einem gegebenen Substrat induzieren kann, ein fortschrittliches Dreipulssputterverfahren zur Mehrschichtabscheidung und ein Laseroberflächenablationsverfahren zur Substratreinigung. Darüber hinaus verfügt das Werkzeug über eine fortschrittliche Antireflexbeschichtung, die nützlich ist, um beste Musterqualität zu erzielen. CS450 ist auch mit integrierten Umweltkontrollsystemen und einem PVC-freien Förderband ausgestattet, das bei der Vermeidung von Problemen durch statische Elektrizität hilft. Darüber hinaus verfügt es über ein kompaktes Design und eine geringe Stellfläche, so dass Benutzer Platz sparen können, während sie das Asset nutzen. Mit diesen Funktionen bietet das CS 450 Anwendern ein zuverlässiges und sicheres Fotolackmodell.
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