Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269625 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON CS450 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die eine kleine Partikelabsorptionsmethode verwendet, um hochauflösende Verarbeitungsfähigkeiten bereitzustellen. Photoresist ist ein lichtempfindliches Material, das verwendet wird, um Muster auf einem Substrat zu erzeugen. TEL CS450 System verwendet eine einzigartige Methode, um kleine Teilchen Titan-Silikat-Pulver zu verwenden, die in einem organischen Lösungsmittel dispergiert sind, um ein Vakuum über den definierten Bereich eines Belichtungsfeldes zu erzeugen. Dann wird Laserlicht aufgebracht, wodurch die Partikel das Licht absorbieren und Bilder auf dem Wafer erzeugen. TOKYO ELECTRON CS 450 ist für die Halbleiterherstellung konzipiert und erzeugt Merkmale bis zu 0,3 μ m. Das Gerät ermöglicht eine hohe Gleichmäßigkeit der Belichtung und eine hohe Geschwindigkeit für die Photolackbeschichtung und -belichtung. Die Maschine ermöglicht eine präzise Steuerung der Belichtungsparameter und -prozesse und eignet sich somit ideal für eine hohe Serienproduktion mit hervorragenden Erträgen. Das Tool wurde entwickelt, um zuverlässige und konsistente Ergebnisse im Laufe der Zeit zu gewährleisten und wird regelmäßig überwacht, um die Leistung zu gewährleisten. TEL CS 450 eignet sich für eine Reihe von Anwendungen, einschließlich E-Beam-Lithographie mit direktem Schreibzugriff, fortschrittliche Verpackung und andere Anwendungen, die eine hochauflösende Photoresist-Strukturierung erfordern. Das Asset integriert physische Bedampfungsfunktionen. Das Beschichtungsverfahren enthält eine Substratübertragungskammer, eine Vorbeschichtungskammer und eine Nachbeschichtung sowie eine Kontrollstation, eine Waferreinigungsstation und einen Gasinjektor. Darüber hinaus ist CS 450 in der Lage, Substrattemperaturen bis 180 ° C für Nitrid, Dielektrikum und Metalle zu erreichen. Das Modell verfügt auch über Prozessfenster für Temperatur, Zeit, Druck und Dicke, die für jede Bearbeitungsschicht eingestellt werden können. Darüber hinaus bietet CS450 hervorragende Prozesseigenschaften bei kurzen Taktzeiten, die höchsten Konsistenzstandards entsprechen. Das Gerät verfügt über eine geringe thermische Belastung, was ein höheres thermisches Budget für die Verarbeitung ermöglicht, was wiederum dazu beiträgt, Kosten zu reduzieren und die Geschwindigkeit zu erhöhen. Schließlich macht die benutzerfreundliche Benutzeroberfläche des Systems benutzerfreundlich und effizient.