Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9412551 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON CS450 ist eine Photolackanlage zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Dieses System wird verwendet, um Muster auf Wafern und strukturierten Medien zu entwickeln, um Mikroschaltungen für Transistoren und andere Komponenten herzustellen. TEL CS450 enthält eine ganze Reihe integrierter Komponenten, die zusammenarbeiten, um Resistmuster zu verarbeiten und zu entwickeln. Zu den Komponenten gehören eine Resist-Spin-Beschichtungseinheit, ein Photoresist-Dispenser, ein Photoresist-Editor, ein Mehrkammer-Resist-Prozesswerkzeug und ein Masken-Aligner. Die Resist-Spin-Beschichtungsmaschine ist so ausgelegt, dass sie eine gleichmäßige Photolackschicht über die Waferoberfläche aufbringt. Diese Photolackschicht wird dann unterschiedlichen Wellenlängen von ultraviolettem Licht ausgesetzt, um ein Muster zu erzeugen. Nach der Belichtung dispensiert der Photoresist-Dispenser und Photoresists in dem gewünschten Muster auf das Substrat zur Entwicklung der Mikroschaltung. Der Photoresist Editor ermöglicht eine präzise Bearbeitung und Optimierung des Maskenmusters für eine hohe Auflösung. Es kann auch eine vorhandene Bibliothek von Maskenmustern verwenden, um neue Designs zu generieren, die genau den gewünschten Spezifikationen entsprechen. Das Mehrkammer-Resist-Prozesswerkzeug bietet die ideale Umgebung für nachfolgende Photolithographieschritte. Es ist mit mehreren Kammern ausgestattet, die verschiedene Lichtquellen aufnehmen können und eine gleichzeitige Musterentwicklung auf der Waferoberfläche ermöglichen. Darüber hinaus verfügt TOKYO ELECTRON CS 450 über einen Maskenausrichter. Dieses Werkzeug ist entworfen, um das Muster auf mehreren Substraten auszurichten, so dass ein gleichmäßigeres Ergebnis über eine größere Fläche. Der Maskenausrichter hilft auch, Fehler beim Bewegen des Wafers zwischen Prozessen zu reduzieren. Schließlich ist CS450 für genaue und effiziente Ergebnisse optimiert. Es ist mit mehreren integrierten Komponenten ausgestattet, die den Resist-Musterungsprozess automatisieren und gleichzeitig eine hohe Genauigkeit behalten. Dadurch können TOKYO ELECTRON CS450 Ergebnisse mit engen Toleranzen und gleichbleibender Leistung erzielen.