Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269635 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON CS500 ist eine Hochleistungs-Photoresist-Ausrüstung, die in Halbleiter- und Mikroelektronik-Anwendungen verwendet wird. Das Photoresist-System nutzt eine Kombination aus fortschrittlicher Bildgebungsoptik, hochpräziser und robuster Mechanik und fortschrittlicher Software. Das Ergebnis ist eine außergewöhnlich robuste und zuverlässige Plattform, die eine Vielzahl von Resistverarbeitungsanforderungen unterstützen kann. TEL CS500 verwendet die DBP-Technologie (Digital Beam Projection), um eine hochpräzise Belichtung der Photomaske auf dem Substrat zu ermöglichen. Diese Technologie gewährleistet eine gleichmäßige Belichtung der jeweiligen Strukturen und die Wiederholbarkeit des Musters. Darüber hinaus verwendet das Gerät eine kontrollierte Intensitätsbeleuchtung und eine optimierte Optikmethode, um Blendung, räumlich abhängige Beleuchtung und hochauflösende Bildgebung zu reduzieren, um die Produktionsgeschwindigkeit zu erhöhen und die Erträge zu erhöhen. Der höchste Auflösungsgrad von TOKYO ELECTRON CS 500 wird durch den Einsatz von Sub-Mikron-Techniken erreicht, die das genaue Bild genau auf das Resist-Substrat reproduzieren. Darüber hinaus ist die Maschine in der Lage, dünnes Resistmaterial zu handhaben (so dünn wie 0,2 μ m) und verfügt über hochpräzise Overlay-Funktionen mit Multi-Düsen-Ausrichtungsstufen der Genauigkeit. Diese Kombination von Eigenschaften und Vorteilen ermöglicht es Anwendern, optimale Prozessparameter für die breite Palette von Resist-Photolithographie-Anwendungen zu erreichen. Die fortschrittliche Software von CS500 verbessert die Funktionalität des Tools weiter. Durch die vollständige Kontrolle der Parameter und Einstellungen des Assets während des Resist-Prozesses erhöht es die Genauigkeit und Zuverlässigkeit des Modells erheblich und reduziert gleichzeitig die Betriebszeit drastisch. In Bezug auf Sicherheit und Wartung ist CS 500 mit einer automatischen Reinigungsanlage entwickelt, um Schmutzpartikel zu entfernen und das Risiko von Kontaminationen zu reduzieren. Zusammen mit integrierten Sicherheitsverriegelungen, um eine versehentliche Exposition während des Prozessbetriebs zu verhindern, erhöhen diese Funktionen die Benutzersicherheit erheblich. Abschließend ist TEL/TOKYO ELECTRON CS 500 ein Premium-Photoresist-System, das fortschrittliche Optik, hochpräzise und robuste Mechanik und fortschrittliche Software kombiniert, um eine breite Palette von Resistverarbeitungsanforderungen zu unterstützen. Unter Verwendung dieser Funktionen ist TEL CS 500 in der Lage, hochpräzise, hochauflösende Produktion mit maximalen Erträgen zu bieten und die Betriebszeiten zu minimieren.