Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269647 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON CS500 Photoresist Equipment ist ein fortschrittliches Photolithographiesystem zur Herstellung integrierter Schaltungen. Das Gerät ist eine vollautomatisierte Photolithographie-Maschine, die die neueste Lithographie-Technologie nutzt, um die Chipherstellung mit einer beispiellosen Genauigkeit und Geschwindigkeit zu ermöglichen. TEL CS500 kann sowohl Resistfilme mit maximal 24 Fotomasken belichten als auch entwickeln. Es kann bis zu 6.500 Wafer pro Stunde verarbeiten und trägt eine Vielzahl von verschiedenen Funktionen, um den anspruchsvollen photolithographischen Anforderungen des Kunden gerecht zu werden. Dazu gehören ein breites Spektrum von Belichtungswellenlängen, vom tiefen ultravioletten (DUV) Licht bis zum Röntgenlicht. Das Werkzeug ermöglicht auch eine Retikelsteuerung und eine Ausrichtung der Waferstufe, um die Genauigkeit der Belichtung zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON CS 500 ist mit einem Advanced Automatic Alignment Asset (AAS) ausgestattet, um sicherzustellen, dass die Photolackschicht während des Belichtungsprozesses korrekt positioniert ist. Dieses Modell berücksichtigt sowohl Teileform- als auch Positionsdaten, die Röntgenspaltausrichtung und Wafer-Dehnungsregler, um sicherzustellen, dass eine korrekt dimensionierte Resistschicht erzeugt wird. Der AAS ermöglicht auch die Einstellung der Dosisrate, die eingestellt werden kann, um eine Resistschicht der angegebenen Dicke zu erzeugen. Darüber hinaus verfügt CS 500 über eine eingebaute Inspektionsausrüstung, um Fehler in der Photolackschicht nach ihrer Herstellung zu erkennen. Das System ist in der Lage, Defekte bis zu 3 Mikrometer zu erkennen, so dass alle Filme mit Defekten schnell erkannt und korrigiert werden können. Um sicherzustellen, dass der Photolack gleichmäßig belichtet und entwickelt wird, verwendet TEL CS 500 eine fortschrittliche Coherent Beam Array (CBA) -Belichtungseinheit. Diese Maschine verfügt über eine Anordnung von Laserstrahlen, die auf die Resistschicht projiziert werden, um sicherzustellen, dass das Licht gleichmäßig über die Schicht dosiert wird. TOKYO ELECTRON CS500 ist ein leistungsstarkes Lithographie-Tool, das eine deutlich erhöhte Genauigkeit und Durchsatz in der Chip-Produktion bieten kann. Seine Kombination aus fortschrittlichen automatischen Ausrichtungs- und Inspektionssystemen sowie sein Strahlarray-Belichtungsmaterial machen es zu einem unverzichtbaren Werkzeug im modernen Chip-Produktionsprozess.