Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269651 zu verkaufen
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ID: 9269651
System
HITACHI LE-4000A
(2) Stages
Horizontal conveyor
Conveyor controller.
TEL/TOKYO ELECTRON CS500 ist eine Photoresist-Ausrüstung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es verwendet eine Reihe von lithographischen Technologien, um hochwertige Mikrostrukturen auf einer Oberfläche mit hoher Auflösung zu erstellen. Das System verwendet digitale Bildgebungstechniken, um hochpräzise Konstruktionsmerkmale in nanoskaligen Genauigkeitsstufen zu erzeugen. TEL CS500 belichtet eine Photolackbeschichtung auf der Waferoberfläche mit einer ultravioletten (UV) Lichtquelle. Dieses UV-Licht wird dann durch ein hochauflösendes Programm moduliert, bevor es dem Wafer zugeführt wird. Dieses Programm kann auf verschiedene Fotolacktypen zugeschnitten werden, so dass der Benutzer ein präzises und genaues Design erhalten kann. TOKYO ELECTRON CS 500 verwendet auch eine fortschrittliche Vakuumeinheit, um die Luftverschmutzung während des Beschichtungsprozesses zu reduzieren. Dies reduziert Defekte und verhindert, dass Partikel die Beschichtung beim Aufbringen verstopfen. Die Maschine wird auch mit der erweiterten Dose-Time Printer (DTP) Software geliefert. Diese Software ermöglicht es dem Benutzer, die Belichtung und die Dosis der UV-Lichtquelle einzustellen. Dies geschieht durch Eingabe des gewünschten Konstruktionsmusters direkt in die Software. Der Anwender kann dann die Echtzeit-Dosis überwachen und versuchen, die Belichtung für das gewünschte Design zu optimieren. CS 500 bietet auch eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, die Personal und Ausrüstung vor UV-Strahlung schützen. Dazu gehört ein Echtzeit-Bildgebungswerkzeug, das UV-Belichtung erkennen kann und das Personal in die Lage versetzt, Schutzkleidung zu tragen und sichere Arbeitsabstände einzuhalten. Die Anlage bietet auch Strahlungsabschirmung und Abschirmung Filter, die Strahlenbelastung reduzieren können. TEL CS 500 ist ein unschätzbares Werkzeug für Hersteller von Halbleiterbauelementen und bietet präzise Konstruktionsmerkmale mit Genauigkeit auf Nanoskala, Vakuumschutz gegen Luftverschmutzung und Sicherheitsmerkmale, um Personal und Ausrüstung vor schädlicher UV-Strahlung zu schützen.
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