Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269697 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON CS500 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die für extreme chemische, mechanische und thermische Stabilität entwickelt wurde. Das System besteht aus zwei Komponenten: TEL CS500 Photolackeinheit selbst, die Belichtungs-, Entwicklungs-, Vorback- und Nachbackprozesse durchführt, und der dazugehörigen Software, die es Anwendern ermöglicht, Rezept- und Maschinenparameter anzupassen. TOKYO ELECTRON CS 500 Werkzeug ermöglicht präzise Belichtung und Entwicklung von Photoresists in Memory IC Chip Produktionsanlagen. Die Kombination aus einem hochpräzisen, kollimierten Belichtungsmittel und einer separaten Vorbackeinheit für die Form Plasma sorgt für hervorragende Gleichmäßigkeit, Wiederholbarkeit und Geschwindigkeit. Ein Feingewindehöhenverstellmechanismus bietet eine hochpräzise Belichtungssteuerung. Das Modell verfügt zudem über einen automatisierten Entwicklungskopf für überlegene Ergebnisse und ist mit einem integrierten Foliendickenmonitor ausgestattet. Die begleitende Software bietet die Möglichkeit, alle Prozessparameter einschließlich Maskengröße, Belichtungsdosierung, Entwicklungszeit sowie Vorback- und Nachbacktemperaturen mit einem Mausklick zu steuern und anzupassen. Rezeptparameter können im Speicher gespeichert und für die zukünftige Verwendung zurückgerufen werden, was die wiederholbare Verarbeitung mit genauen Rezepten einfach macht. Das Gerät enthält auch eine lange Lebensdauer optische Spalteinheit, die hochgenaue Nivellierung zusammen mit einem Film Dicke Monitor für genaue Messungen bietet. Zusätzlich ist eine elektronische automatische Resist-Negativkontrolle vorgesehen, um Stoßbelastungen bei Bewegung und Abwaschzeiten zu vermeiden. Das System bietet eine kompakte Bauweise, die einfach zu installieren ist und eine geringe Wartung, einen geringen Energieverbrauch und einen geringeren Geräuschpegel bietet. Es ist für den Betrieb in extrem rauen und korrosiven Umgebungen konzipiert und ist mit einer Vielzahl von Chemikalien und Lösungsmitteln kompatibel. Das Gerät verfügt über eine hohe chemische, mechanische und/oder thermische Stabilität, so dass es für den Einsatz in den robustesten Produktionseinstellungen geeignet ist. Abschließend ist TEL CS 500 Photolackmaschine ein hochpräzises, einfach zu bedienendes Werkzeug, das ausgezeichnete Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit bietet. Seine Eigenschaften und Stabilität machen es zu einem idealen Kapital für Speicher-IC-Chip-Produktionsanlagen.
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