Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269701 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON CS500
ID: 9269701
System HITACHI LE-4000A Conveyor With computer Operating system: MAC.
TEL/TOKYO ELECTRON CS500 ist eine Photoresist-Ausrüstung für den Einsatz auf Wafern in der Halbleiter- und Mikroelektronikfertigung. Es ist in der Lage, Substratgrößen bis 200 mm zu handhaben. TEL CS500 bietet die höchste Auflösung für die Mikrolithographie, mit der Fähigkeit, mit Sub-Quartermicron-Funktionen zu belichten. Es verfügt über ein modernes Design und erweiterte Funktionen, um wiederholbare, zuverlässige Ergebnisse zu gewährleisten. Das System ist für schnelles Be- und Entladen von Wafern ausgelegt, was es für die Großserienfertigung einfach macht. Es verfügt über einen einzigartigen Bewegungsmechanismus, der das Substrat präzise ausrichtet und eine gleichmäßige Verarbeitung gewährleistet. Darüber hinaus kann es vollautomatisiert werden und bietet die effizientesten und wirtschaftlichsten Mittel der Photolithographie. TOKYO ELECTRON CS 500 verwendet ein laserbasiertes Gerät, um die Waferoberfläche zu bestrahlen, und die Belichtungsdosis ist auf Skalierbarkeit und optimale Leistung einstellbar. Es ist in der Lage, mehrere Photoresist-Materialien zu verwenden, einschließlich solche aus der Polymethylmethacrylat-Familie, Polyimid-Familie und Novolac-Familie. Die Einheit ist in der Lage, eine breite Palette von Fotolackfilmen aufzubringen, wodurch verschiedene Mikromuster mit präziser Gleichmäßigkeit und Abdeckung erreicht werden. Mit seinen integrierten Prozessparametern kann es schnell kalibriert werden, um gewünschte Ergebnisse zu erzielen. TEL CS 500 bietet zudem ein umfangreiches Angebot an Optionen zur Feinabstimmung von Prozessparametern. Dazu gehören Verbesserungen an den Merkmalen, wie einstellbare Laserstrahlintensität oder Fokus, sowie die Fähigkeit zur Einstellung der Belichtungszeit. Mit diesen Parametern kann die Maschine so konfiguriert werden, dass unabhängig vom Widerstandsmaterial oder Muster qualitativ hochwertige Ergebnisse erzielt werden. CS 500 ist eine leistungsstarke und äußerst zuverlässige Lösung für Photoresist-Anwendungen, die einen überlegenen Durchsatz und genaue Ergebnisse liefert. Es ist eine wertvolle Ergänzung zu jeder Halbleiter- oder Mikroelektronik-Produktionslinie.
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