Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269704 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON CS500 ist eine innovative Photoresist-Ausrüstung für den Einsatz in der Halbleiterherstellung. Photoresist ist ein lichtempfindliches Material, das auf ein Substrat, wie einen Halbleiterwafer, aufgebracht wird, um Muster bei der Herstellung integrierter Schaltungen zu erzeugen. TEL CS500-System kombiniert eine direkte Bildgebungstechnologie mit patentierten UV-Belichtungstechniken für eine präzisere und genauere Fotoresist-Strukturierung. Neben der direkten Bildgebungstechnologie ist TOKYO ELECTRON CS 500 mit proprietären Methoden zur UV-Lichteinwirkung konzipiert. In dieser Einheit ist die Kammer mit zwei Sätzen von UV-Lampen ausgebildet, die eine hochdirektionale, gleichmäßige Ausleuchtung der Muster ermöglichen und eine genaue und genaue Positionierung der Photoleitungen ermöglichen. Die Lichtintensität ist auch einstellbar, so dass der Benutzer die Maschine für verschiedene Photolackkomplexitäten und Linienbreiten einstellen kann. Die proprietären Belichtungstechniken des Werkzeugs wurden entwickelt, um Fehler durch optische Streuung und Interferenz zu minimieren und so qualitativ hochwertigste Muster mit möglichst geringen Linienbreiten zu erzeugen. Darüber hinaus ist CS500 mit einem fortschrittlichen Beleuchtungsregler und einer präzisen Belichtungszeiteinstellung für optimale Ergebnisse ausgestattet. CS 500 Asset ist auch mit einem automatisierten Modell konzipiert, einschließlich Echtzeit-Auto-Dosisanpassungsfunktionen, die überlegene und genaue Fotolackmuster ermöglichen. Die automatisierte Ausrüstung kann auch Fehler erkennen und erkennen, was eine einfache Fehlerbehebung und Mustergleichmäßigkeitsanpassung ermöglicht. Darüber hinaus ist das System mit einer kostengünstigen Belichtungs- und Verarbeitungslösung in Kombination mit softwarebasierter Prozesssteuerung, einer benutzerfreundlichen Benutzeroberfläche und verbesserten Prozesssteuerungsfunktionen konzipiert. Um eine überlegene Photoresist-Strukturierung zu gewährleisten, ist TOKYO ELECTRON CS500 Unit auch mit verbesserter Sub-Mikron-Genauigkeit und verbesserter Auflösung über die druckbaren Fähigkeiten herkömmlicher Systeme hinaus ausgestattet. Darüber hinaus ist die Maschine für den Einsatz mit einer Vielzahl verschiedener Substrate, einschließlich hoch strukturierter und rauer Oberflächen, konfiguriert und kann sowohl für Einzelschuss- als auch für Mehrfachschussbelichtungen verwendet werden. Insgesamt ist TEL CS 500 ein wegweisendes Photoresist-Tool, das ausgefeilte UV-Lichtbelichtungstechniken und proprietäre bildgebende Technologien für überlegene Genauigkeit und Strukturierung kombiniert. Die automatisierte Ausstattung, der fortschrittliche Beleuchtungsregler, die verbesserte Auflösung und die kostengünstige Lösung machen ihn zu einem idealen Fotolackmodell für eine Vielzahl verschiedener Anwendungen.