Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269714 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON CS500 ist eine automatisierte Photolackbeschichtungsanlage zur processing von Resistsubstraten zur Verwendung in der Halbleiterherstellung. TEL CS500 basiert auf einer einachsigen Stufe, die eine 360 Grad Abdeckung des Substrats ermöglicht. Dies ermöglicht einen hocheffizienten Applikationsprozess, da das System für eine schnelle und präzise Resistbelastung ein- und ausgeschaltet werden kann. TOKYO ELECTRON CS 500 Harz wird in eine Spritzenpumpe eingespeist, was eine präzise und genaue Steuerung der Beschichtungslösung ermöglicht. Die Pumpe wird dann verwendet, um die Resist-Lösung im „Track-Follow“ -Modus über den gesamten Wafer aufzubringen und zu verteilen. Dadurch wird eine gleichmäßige und gleichmäßige Abdeckung des Resists über das Substrat gewährleistet. TEL/TOKYO ELECTRON CS 500 hat mehrere verschiedene Betriebsarten. Dazu gehört ein Selbstkalibriermodus, mit dem Benutzer die Gleichmäßigkeit und Abdeckung des Resists vor der Beschichtung überprüfen können, was die Identifizierung von Parametereinrichtungs- oder Kalibrierungsfehlern erleichtert. Das Gerät verfügt auch über eine automatische Temperaturregelmaschine. Dies gewährleistet eine gleichbleibende Temperatur während des gesamten Prozesses, um eine genaue und konsistente Anwendung des Resists zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON CS500 verfügt zudem über ein integriertes Fehlererkennungswerkzeug. Dies hilft, Benutzer auf Probleme aufmerksam zu machen, bevor der Resist ausgegeben wird, was bei Bedarf schnellere Korrekturmaßnahmen ermöglicht. CS500 ist mit einer Vielzahl von Resists kompatibel, die von negativ bis positiv und von niedriger bis hoher Viskosität reichen. Dies ermöglicht einen schnellen Wechsel von Resists für die Klein- oder Großserienfertigung. Schließlich ermöglicht CS 500 auch eine einfache Verbindung zu einem Netzwerk von Computern, so dass die Fernbedienung und der Betrieb der Anlage. Dies ist nützlich für die Großserienfertigung und ermöglicht die Fernüberwachung und Anpassung beliebiger Parameter. Insgesamt ist TEL CS 500 ein automatisiertes Photoresist-Beschichtungsmodell, das eine gleichmäßige und konsistente Verteilung einer Resistschicht über ein Substrat mit minimalem manuellen Eingriff ermöglicht. Seine automatisierten Eigenschaften und seine Kompatibilität mit einer Vielzahl von Resists machen es zu einer idealen Wahl für den Einsatz in der Halbleiterherstellung.