Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269718 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON CS500 ist eine Photoresist-Ausrüstung für die Herstellung von fortgeschrittenen Halbleitern und mikroelektronischen Bauelementen. Es ist in der Lage, Photolackschichten von verschiedenen Substraten, einschließlich Siliziumwafern, Quarzscheiben, OLED-Substraten und mehreren Metallen, zu ätzen und zu strippen. Die fortschrittliche Strukturierungsfähigkeit von TEL CS500 maximiert die Photolackauslastung und macht den Prozess schneller und kosteneffizienter. TOKYO ELECTRON CS 500 verfügt über ein hochauflösendes Bildgebungssystem, das in der Lage ist, Funktionen bis zu 0,35 Mikrometer abzubilden, was eine genaue Wiederholbarkeit für Schaltungsmerkmale ermöglicht. Die optische Einheit weist auch einen niedrigen Brechungsindex auf, was bedeutet, dass sie die Beugung reduzieren und die Übertragung höherer Energiestrahlung ermöglichen kann. Dies gibt der Maschine eine höhere Auflösung und einen höheren Durchsatz, was zu einem schnelleren und genaueren Ätzen von Schaltungen führt. CS 500 ist mit einem hocheffizienten Post-Elektronen-Multiplikator-Detektor ausgestattet, der das Signal-Rausch-Verhältnis des Photolacks maximieren kann. Es verfügt auch über ein breitbandiges CO2-Laserlieferwerkzeug mit hoher Empfindlichkeit, das Niederspannungsbetrieb ermöglicht und Sputtern unter energiereicher Strahlung erheblich reduziert. Das Liefergut verfügt zudem über einen Flachfeld-Energiedetektor, der eine genaue Verarbeitung über große Bereiche hinweg ermöglicht. TEL CS 500 verfügt zudem über ein spezielles Kammerdesign, das hilft, die Kontaktzeit für Ätzprozesse zu reduzieren und gleichzeitig eine niedrige Temperaturumgebung zu erhalten. Dies ermöglicht verkürzte Verarbeitungszeiten und eine verbesserte Filmstabilität. CS500 umfasst auch eine einzigartige geteilte Kammerkonfiguration, die Verunreinigungen verringert, indem Kreuzkontaminationen zwischen dem Wafer und der Kammer verhindert werden. Schließlich enthält TOKYO ELECTRON CS500 ein erweitertes Steuerprogramm, das eine schnelle Einrichtung und einfache Bedienung ermöglicht. Das Steuerprogramm soll es Anwendern ermöglichen, Verarbeitungsparameter im Handumdrehen anzupassen, um sicherzustellen, dass der Prozess für die zu verarbeitenden Substrate optimiert wird. Es ermöglicht auch die Fernsteuerung der Schalentemperatur und des Kammerdrucks für die ultimative Ätzgenauigkeit.