Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269720 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON CS500 ist eine Photoresist-Ausrüstung für fortgeschrittene Halbleiterbauelementprozesse. Es ist auf die Bedürfnisse von Halbleiterherstellern zugeschnitten und bietet ein umfassendes elektromagnetisches Lithographiesystem. Das Gerät kann eine breite Palette von Substraten aufnehmen, einschließlich 8-Zoll und 12-Zoll-Wafer, und verfügt über eine hochauflösende Stepper/Scanner-Maschine. Es ist auch in der Lage, Dual-Panels bis zu 18-Zoll-Wafer aufzunehmen. Das Stepper/Scanner-Tool kann hochauflösende Bilder mit einer Auflösung von bis zu 0,08 μ m erzeugen. Das Asset bietet eine Reihe von Funktionen, um Genauigkeit und Zuverlässigkeit bei Photoresist-Prozessen zu gewährleisten. Dazu gehören ein vollständig geschlossenes und automatisiertes Lademodell für Scannerkassetten, ein On-Axis-Wafer-Ausrichtungsmodul und ein High-Speed-Wafer-Handling-Gerät. Das System umfasst auch eine fortschrittliche Heißfutterheizung, die Temperaturregelung und thermische Gleichmäßigkeit ermöglicht, und eine hochintegrierte Steuerungsarchitektur, für eine einfache Prozesseinrichtung und -verwaltung. Die optische Einheit besteht aus einer Vielzahl von Komponenten, darunter eine Hochleistungsbeleuchtungsmaschine, ein fortgeschrittenes Phasengitter und ein Feldkoppler. Insbesondere das Beleuchtungswerkzeug weist eine hohe Lichtausbeute auf, die einen hochpräzisen Musterdruck mit guter Fokustiefe ermöglicht. Die Anlage kann eine breite Palette von Substraten und Photolackmaterialien handhaben. Es ist kompatibel mit Standard i-line und KrF Lithographie-Systemen und ist mit einem chemisch-bedampften (CVD) Resistbeschichtungsmodell ausgestattet. Im Rahmen des Resistbeschichtungsprozesses umfasst die Anlage eine Seitenwandsteuerung, ein wichtiger Schritt, der für eine präzise Strukturierung notwendig ist. Das System verfügt auch über fortschrittliche Software, die eine einfache Verwaltung und Rückverfolgbarkeit für jeden Schritt des Prozesses ermöglicht. Die Software ermöglicht das Einrichten, Verarbeiten und Überwachen von Parametern mit einer einfachen, benutzerfreundlichen grafischen Oberfläche. Insgesamt ist TEL CS500 Photolackeinheit ein fortschrittliches und vielseitiges Werkzeug für fortschrittliche Halbleiterbauelementprozesse. Seine hochauflösende Stepper/Scanner-Maschine, fortschrittliche Beleuchtung, CVD-Resistbeschichtung und umfassende, benutzerfreundliche Software machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für Hersteller, die nach Genauigkeit und Zuverlässigkeit bei der Durchführung von Photoresist-Prozessen suchen.